| |||
化学气相沉积,化学蒸涂; 化学气相沉积, CVD法; 化学气相沉积, CVD法化学气相沉积 | |||
化学气相淀积 | |||
Russian thesaurus | |||
| |||
получение твёрдых веществ с помощью химических реакций, в которых участвуют газообразные реагенты. Используют для получения текстурированных покрытий, монокристаллов, эпитаксиальных и монокристаллических плёнок напр., в планарной технологии, нитевидных монокристаллов "усов", барьерных слоев предотвращающих разрушение покрытий на соплах ракет, при изготовлении различных изделий сложной конфигурации и др. Большой Энциклопедический словарь |
химическое осаждение из газовой фазы: 7 phrases in 3 subjects |
General | 4 |
Nanotechnology | 1 |
Technology | 2 |