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| Vektorscan-Verfahren n (der Elektronenstrahl wird innerhalb eines Ablenkfeldes so geführt, daß nur die zu belichtenden Strukturgebiete abgerastert und die nicht zu belichtenden Gebiete übersprungen werden) | |||
| vector scan method: 2 phrases in 1 subject |
| Microelectronics | 2 |
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