![]() |
| |||
плазмохимическое травление (управляемое селективное удаление материала с помощью химически активных ионов и радикалов в низкотемпературной плазме низкого давления) | |||
плазменное травление (процесс травления с использованием в качестве травителя облака ионизированного газа) | |||
плазменное травление | |||
| |||
плазмохимическое травление (управляемое селективное удаление материала с помощью химически активных ионов и радикалов в низкотемпературной плазме низкого давления) | |||
плазменное травление (процесс травления с использованием в качестве травителя облака ионизированного газа) |
plasma etching : 48 phrases in 5 subjects |
Electronics | 4 |
Makarov | 2 |
Microelectronics | 16 |
Nanotechnology | 13 |
Technology | 13 |