charged particle beam | |
med. | пучок заряженных частиц |
mil. | пучок заряжённых частиц; пучок заряженных частиц |
microlithography | |
el. | литография микронного разрешения; литография с микронным разрешением |
apparatus | |
gen. | аппаратурный |
physiol. | органы |
sport. | аппаратный |
and | |
gen. | и |
χ-λ method | |
immunol. | метод лёгких цепей |
exhibiting | |
cinema | участвовавший в выставке |
reduced | |
gen. | уменьшенный |
thermal | |
gen. | тепловой |
| |||
пучок заряженных частиц (напр. о лучевом оружии) | |||
пучок заряжённых частиц; пучок заряженных частиц | |||
| |||
пучок заряженных частиц |
charged- particle -beam microlithography apparatus and methods exhibiting reduced thermal: 1 phrase in 1 subject |
Makarov | 1 |