| |||
метод базового кристалла (заготовка типовых фотошаблонов БИС и модификация рабочих фотошаблонов для металлизации в зависимости от функционального назначения кристалла БИС) | |||
| |||
метод базового кристалла (заготовка типовых фотошаблонов БИС и модификация рабочих фотошаблонов для металлизации в зависимости от функционального назначения кристалла БИС) | |||
| |||
технология изготовления ИС на основе базового кристалла; метод базового кристалла | |||
метод базового матричного кристалла |