 |
| Ukrainian | English |
| промислова група з МЕМС | MEMS Industry group |
| розпилювання Процес випуску атомів або групи атомів з поверхні катода негативного електроду у вакуумній трубці як результат дії важких іонів | sputtering (Цей процес використовується для осадження тонкого шару металу на скло, пластик, метал або іншу поверхню у вакуумі) |