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Terms
for subject
Microelectronics
containing
fuhren
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all forms
German
English
das Elektronenstrahlbündel rasterförmig über die Feinjustiermarken
führen
scan the electron beam over registration marks
den Elektronenstrahl schrittweise um 0,5 μm in x-Richtung
führen
step the electron beam by 0.5 μm in the x-direction
den Strahl rasterartig über das Substrat
führen
scan the beam across the substrate
den Strahl rasterartig über eine quadratische Fläche von 128² Bildelementen
führen
raster-scan the beam over a 128-by-128 pixel area
den Strahl rasterförmig über den Wafer
führen
move the beam across the wafer in a raster scan fashion
den Strahl rasterförmig über die resistbeschichtete Oberfläche
führen
raster-scan the beam over the resist-coated surface
den Strahl schrittweise über das Schreibfeld
führen
step the beam across the writing field
den Strahl sequentiell zu den zu belichtenden Elementen der Chipstruktur
führen
direct the beam sequentially to the elements of the chip pattern to be exposed
ein bogenförmiges Bildfeld von 1 mm Breite rasterartig über den Wafer
führen
scan an arc-shaped image field of 1 mm width across the wafer
ein kleines Bildfeld rasterförmig in zwei Koordinatenrichtungen über den Wafer
führen
raster-scan a small image field over the wafer in two dimensions
eine Lichtsonde im Abtastverfahren über einen Defekt
führen
scan a light spot over a defect
einen Elektronenstrahl rasterartig
führen
scan an electron beam
(um eine Maskenstruktur zu schreiben)
nach außen
führen
externalize
(z. B. Signale)
rasterartig
führen
über
scan over
Schaltungsausgänge über eine Ausgangszeile
führen
route circuit outputs through an output cell
über eine Pufferstufe nach außen
führen
buffer to the outside world
über Stufen
führen
traverse steps
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