Sign in
|
English
|
Terms of Use
Dictionary
Forum
Contacts
German
⇄
English
French
German
Hungarian
Japanese
Russian
Ukrainian
Terms
for subject
Microelectronics
containing
ein
|
all forms
|
exact matches only
German
English
Abhängigkeit nach
einem
Potenzgesetz
power-law dependence
als Eingang zu
einem
A-D-Wandler dienen
serve as the input to an A-D converter
an
ein
Zentralsteuergerät anschließen
link to a central controller
an
einen
Digitalrechner anschließen
interface with a digital computer
an
einen
gemeinsamen Systembus anschließen
connect to a common system bus
an jedem Ende durch
ein
Flag begrenzt
bounded at each end by a flag
Angabe in
einem
Informationssatz
item in a set of information
Anordnung der Daten in
einem
Satz
arrangement of data in a record
Anordnung für
einen
integrierten Schaltkreis
floor plan arrangement for an IC
Anordnung mit
einem
Rastermaß von 0,1 mm
array having 0.1 mm pitch between diameters
Anzeige auf
einem
Datensichtgerät
display on a terminal
Atom auf
einem
Zwischengitterplatz
interstitial
auf
ein
Atom stoßen
impact an atom
auf
ein
Chip passen
fit on one chip
auf
ein
Lesesignal sofort antworten
respond immediately to a read signal
(reagieren)
auf
ein
Magnetspeichermedium schreiben
write to a magnetic memory medium
auf
ein
Maximum erhöhen
maximize
(bringen)
auf
ein
Zehntel seines Ausgangswertes abfallen
decrease to one tenth of its original value
auf
einem
anderen Rechner laufend
cross
auf
einem
Bildschirmgrafikeditor interaktiv verbinden
interconnect interactively on a CRT-based graphics editor
(z. B. Schaltkreiselemente)
auf
einen
gewissen Zustand reagieren
react to some condition
auf
einen
Sondendurchmesser von 10 Ä verkleinern
demagnify to a probe of 10 Ä
auf
einen
Wafer schleudern
spin on a wafer
(z. B. Resist)
aus
einem
Programmteil in einen anderen springen
transfer control from one part of a program to another part
aus
einem
Unterprogramm austreten
exit from a subroutine
Ausbrenn-Programmierbarkeit in
einem
Logikfeld
programmability by fused links in an array
automatische Fehlerkorrektur durch
einen
Mikroprozessor
microprocessor automatic error correction
automatische Fehlerkorrektur durch
einen
Mikroprozessor
microprocessor auto error correction
Baustein für parallele
Ein
- und Ausgabe von Daten
parallel input-output controller
Beaufsichtigung der Elektronenstrahlanlage durch
einen
Vollbeschäftigten
full-time operator attendance at the E-beam machine
Bedienung der Elektronenstrahlanlage durch
einen
Vollbeschäftigten
full-time operator attendance at the E-beam machine
Begrenzerschaltung in
einem
logischen Schaltungsaufbau eines Rechners
clamp in a computer logic circuit
bei
einem
Dialoggerät anmelden
log on at an interactive terminal
Belichtungsdatei für
einen
integrierten Schaltkreis
integrated circuit pattern data file
Beobachtung mit
einem
Rasterelektronenmikroskop
SEM observation
Bewertung
einer
Gesamtwaferjustierung auf einem Wafer-Stepper
characterization of a global alignment on a wafer stepper
bindungsfähig mit
einem
Positivresist
bondable with a positive resist
bipolare Funktionen auf
einem
Chip vereinigen
mix bipolar functions on one chip
bis zu acht Chips in
einem
Baustein von 1 Quadratzoll kapseln
package up to eight chips within a 1 in. square module
Bitfolge in
einem
Datenübertragungsblock
bit sequence in a frame
das Bild der
einen
Maske mit dem anderen überdecken
superimpose the image of one mask on the other
das foliengebondete Chip direkt auf
einem
Substrat befestigen
attach the tape-mounted chip directly to a substrate
das Programm über
einen
Eingabe-Ausgabe-Kanal in einen Computer zur Speicherung auf Magnetband eingeben
feed the program via an I-O port to a computer for storage in magnetic tape
das Resist in
einem
Abstand von wenigen Mikrometern von der Maske positionieren
position the resist within a few micrometres of the mask
das Retikel auf
einem
Fotorepeater verkleinern
reduce the reticle on step-and-repeat equipment
das Retikelbild durch
ein
Verkleinerungsobjektiv projizieren
project the reticle image down through a reduction lens
das Sauerstoffatom auf
einen
Siliziumzwischengitterplatz setzen
place the oxygen atom between the silicon lattice
Dateien zur Verwendung in
einem
anderen System freigeben
release data files for use in another system
Daten von
einem
externen Gerät unmittelbar übernehmen
accept data from an external device immediately
Daten von
einem
verschlüsselten Format in ein anderes umwandeln
alter data from one coded format to another
Daten über
einen
Ausgangskanal ausgeben
put information out via an output port
Daten über
einen
Eingangskanal in die Anlage eingeben
take information into the system via an input port
dem Bediener
einen
Fehlerzustand melden
report an error condition to the operator
(mitteilen)
den Elektronenstrahl in
einem
beliebigen Punkt hell- oder dunkeltasten
switch the electron beam on or off at any point
den Elektronenstrahl rasterförmig über
ein
Feld von 64 μm × 64 μm ablenken
deflect the electron beam in a raster over a 64μm square field
den Fehlerzustand auf
einen
einzigen Fehler zurückführen
reduce the fault to a single error
den geprüften Wafer auf
einem
ebenen Substrat aufbringen
mount the probed wafer on a flat substrate
den Inhalt
eines
Speicherbereichs auf einen Hilfsspeicher übertragen
copy the contents of a memory area to a backing store
den Prozessor über
einen
Anschlußadapter an das Fernsprechnetz anschließen
connect the processor through an adapter to the telephone network
den Status über
einen
speziellen Hilfsbus abfragen
interrogate the status via a special support bus
den Strahl in
einem
X-Y-Raster ablenken
spread the beam in an X-Y raster
den Wafer.in
einem
X-Y-Raster bewegen
move the wafer in an X-Y raster
den Wert in
einen
bestimmten Datenspeicherplatz eingeben
enter the value into a particular location in the data memory
die Adresse
eines
falschen Wortes in einem Latch erfassen
trap the address of an incorrect word in a latch
(auffangen)
die Adresse
eines
falschen Wortes in einem Latch erfassen
latch the address of an incorrect word
(auffangen, speichern)
die A-D-Umsetzung mit
einem
Befehl beginnen
start the A-D conversion with one instruction
die Antworten in
einem
Ergebnisspeicher registrieren
record the responses in a result memory
die Architektur
eines
Kleinrechners auf ein einziges Siliziumchip bringen
put the architecture of a minicomputer on a single silicon chip
die Belichtung durch
ein
Lichtintegrationssystem steuern
control exposure by a light integration system
die Daten in
ein
für den Verarbeitungsrechner lesbares Format übersetzen
translate the data into a format acceptable to the host
die Daten in
einen
Bus eingeben
supply information to a bus
die Datenübertragung
ein
leiten
initiate data transfer
(auslösen)
die Durchführung der Datenübertragung
einem
getrennten Gerät übertragen
delegate communications management to a separate device
die dynamische Leistung
einem
bestimmten Prozeßschritt anpassen
tailor the dynamic performance to a given process step
die Eingabe
eines
Programms in einen Computer einleiten
initiate the loading of a program into a computer
die endgültige Vorlage auf
einem
Zeichentisch zeichnen
draught the final artwork on a plotting table
die Fehlerdaten auf
einem
Magnetband einschreiben
load the error data on a magnetic tape
die gesamte A-D-Funktion in
einem
DIP-Gehäuse mit 18 Anschlüssen unterbringen
accommodate the complete A-D function into an 18-pin dual-in-line package
die gesamte Bearbeitung
einer
Scheibe auf ein einziges Gerät beschränken
restrict all processing of a slice to a single machine
die gesamte Zentraleinheit in
ein
Einzelchip packen
compress the entire CPU into a single chip
die Impulse
einem
Zähler zuführen
feed the pulses into a counter
die Impulse in
einen
Zähler eingeben
feed the pulses into a counter
die Leistung um
einen
Faktor von nicht weniger als 10 steigern
boost performance by a factor of as much as 10
die logischen Verknüpfungen von Hand auf
einem
Layoutblatt zeichnen
lay out the logic configurations in pencil on a layout sheet
die Maske in
einem
Bearbeitungsschritt nach den magnetbandgespeicherten Daten herstellen
make the mask in one step from the magnetic tape data
die Maske in
einen
kleinen Abstand zum Wafer bringen
put the mask in near proximity to the wafer
die Strukturdaten von
einem
Magnetband kopieren
copy the pattern data from a magnetic tape
die Wafer
einem
Hochtemperaturprozeß unterwerfen
subject the wafers to a high-temperature operation
die Waferjustiermarke auf
einem
Bildschirm darstellen
present the wafer alignment mark on a video screen
die Zeit
eines
Zentralprozessors einem bestimmten Job zuweisen
allocate the time of a central processor to a specific job
die Ziffern an
einem
Ende hinausschieben
move the digits out of one end
die Zuordnung für
einen
Speicherblock aufheben
deallocate a block of memory
die zwei Bytes zu
einem
16-Bit-Wort zusammensetzen
assemble the two bytes into a 16-bit word
direkt auf
ein
Substrat bonden
bond directly to a substrate
direkte Waferstrukturierung mit
einem
Elektronenstrahl
direct wafer patterning with an electron beam
Direktschreiben der Bauelementstruktur mit
einem
Rasterelektronenstrahl
direct writing of the device pattern with a scanning electron beam
Direktschreiben mit
einem
Elektronenstrahl
direct writing with an electron beam
Direktschreiben mit
einem
Elektronenstrahl
direct wafer writing with an electron beam
Direktstrukturierung von Oxidschichten ohne
ein
Resist
direct structuring of oxide layers without any resist
drahtgebondetes Chip auf
einem
Hybridsubstrat
wire-bonded chip on a hybrid substrate
DTL-Schaltkreis mit
einem
Gegentaktausgang
modified DTL circuit
durch
ein
CCD-Register schieben
transfer down a CCD register
(weitertransportieren)
durch
einen
Farbpunkt kennzeichnen
identify by an ink dot
durch
einen
Isolator fließen
flow across
through
an insulator
durch
einen
Schrittmotor antreiben
power by a step motor
Durchlaufzeit für
einen
Maskensatz vom technischen Entwurf bis zum arbeitsfähigen Bauelement
turn-around for a mask set from an engineering design to a working device
ein
Analogsignal verstärken
multiply an analogue signal
ein
Analogsignal verstärken
multiply an analog signal
ein
Atom aus seiner Richtung ablenken
deflect the direction of an atom
Ein
-Ausgabe
input-output
Ein
-/Ausgabe-Baustein
port
Ein
-Aus-Steuerung
on-off
Ein
-Aus-Verhältnis
on-off ratio
ein
automatisches Justiersystem nachträglich einbauen
retrofit an automatic aligner
(z. B. in ein schon vorhandenes Gerät)
ein
Bauelement funktionsuntüchtig machen
render a device non-functional
ein
Belegtsignal an den Mikrocomputer geben
issue a busy signal to the microcomputer
ein
Bild des Crossover auf dem Objekt erzeugen
form an image of the crossover on the target
ein
Bildfeld mit einem anderen überdecken
overlay one exposure field to another
(zur Deckung bringen)
Ein
-Bit-Addierer
one-bit adder
ein
bogenförmiges Bildfeld von 1 mm Breite rasterartig über den Wafer führen
scan an arc-shaped image field of 1 mm width across the wafer
Ein
-Byte-Befehl
one-byte instruction
ein
Datensignal einer Trägerwelle überlagern
superimpose a data signal on a carrier wave
ein
Dauersignal aussenden
emit a continuous signal
ein
defektes Bauteil auf einer Leiterplatte lokalisieren
pinpoint a bad component on a p.c. board
ein
eige nes Rechnersystem aufbauen
construct a computer system in-house
ein
Eingangssignal auslösen
trigger an input signal
ein
einziges großformatiges Bild im Abbildungsmaßstab 1:1 projizieren
project a single large format image at final size
ein
File umkopieren
block copy
(von einem Medium auf ein anderes ohne Veränderung seines Inhalts)
ein
Filter zwischen Kondensor und Maske einsetzen
interpose a filter between condenser and mask
ein
größeres Chip in einem kleineren Gehäuse unterbringen
house a larger chip in a smaller package/ to
ein
hohes Maß von Reproduzierbarkeit gewähren
provide a high degree of reproducibility
ein
Jahr lang auf dem Chip ohne Energie gespeichert bleiben
stay stored on chip for a year without power
ein
kleines Bildfeld rasterförmig in zwei Koordinatenrichtungen über den Wafer führen
raster-scan a small image field over the wafer in two dimensions
ein
Layout digitalisieren
digitize a layout
ein
Magnetband beschreiben
write data to a tape
ein
4 mm breites Bild des Spalts in der Maskenebene erzeugen
create a 4.0-mm wide image of the slit at the mask plane
ein
Potential an das elektrostatische Strahlaustastsystem legen
apply a potential to electrostatic beam blanking plates
ein
Programm abarbeiten
execute a program
ein
Programm auf zwei verschiedenen Rechnern abarbeiten
run a program on two different computers
(durchlaufen lassen)
ein
Programm im Speicher löschen
erase a program from memory
ein
Programm in einer bestimmten Adresse einlesen
load a program at a specified address
ein
Programm verschieben
relocate a program
ein
Protokoll von alien Anforderungen erhalten
keep a log of all requests
ein
Resist auf den Wafer aufschleudern
spin a resist onto the wafer
ein
Retikel auf die Fotoresistschicht abbilden
image a reticle on the photoresist layer
ein
Retikel automatisch abrufen
recall a reticle automatically
(aus der Retikelbibliothek)
ein
Retikel direkt aus Eingangsdaten herstellen
generate a reticle directly from input data
ein
Retikel mit dem Bildgenerator herstellen
pattern a reticle
ein
Signal bestätigen
acknowledge a signal
ein
Signal verzögern
delay a signal
ein
Steuerprogramm auf der Rücksetzstartadresse laden
load a control program at the reset start address
(einlesen)
ein
Steuersignal ausgeben
issue a control signal
ein
Strukturelement schreiben
trace out a pattern element
ein
System stören
plague a system
ein
technologisches lithografisches Verfahren mit anderen vereinigen
combine one lithographic technology with others
ein
Testprogramm kompilieren
compile a test program
ein
Testprogrämm ausgeben
output a test program
Ein
- und Ausgabe
input-output
ein
- und ausgabebegrenzt
input-output-limited
Ein
- und Ausgabegerät
input-output device
Ein
- und Ausgaberegister
input-output register
Ein
- und Ausgabe-schnittstelle
input-output interface
ein
vergrößertes Bild auf den Spalt fokussieren
focus a magnified image onto a physical slit
ein
verkleinertes Bild auf einen Wafer projizieren
project a reduced image onto a wafer
ein
volles 5 mm × 5 mm-Feld abrastern
scan a full 5-mm-square field
ein
Warnsignal auslösen
activate an alarm
ein
Wort direkt in den Speicher eingeben
enter a word directly into memory
ein
Zustandssignal auslösendes Ereignis
flag event
(z. B. Fehlererkennung)
ein
zuverlässigeres Signal für die Justierung liefern
provide a more reliable signal for registration
ein
Zwischenspeicherregister einfügen
insert a buffer register
Einbau in
ein
Einchipbauelement
inclusion in a single chip device
eine
Blase von einem Weg auf einen anderen steuern
steer a bubble from one path to another
(Blasenspeicher)
eine
Datei von einem Speichermedium auf ein anderes übertragen
copy a file from one medium to another
eine
größere Anzahl von Schaltungsfunktionen in einem einzelnen integrierten Schaltkreis ausführen
perform an increased number of circuit functions within a single IC
eine
Lichtsonde im Abtastverfahren über einen Defekt führen
scan a light spot over a defect
eine
Scheibe von einem Siliziumkristall trennen
slice a wafer from a crystal of silicon
eine
stetig wachsende Zahl von kleineren Elementen auf ein Chip bringen
put ever increasing numbers of smaller devices on a chip
eine
Struktur auf ein Raster schreiben
write a pattern on a grid
einem
Computerinterface anpassen
adapt to a computer interface
einen
Abtastwert erfassen
take a sample
(elektrisch)
einen
anderen Lösungsweg gehen
take a different approach
einen
Ausgangsimpuls erzeugen
generate an output pulse
einen
Befehl ausführen
execute an instruction
einen
Befehl ausführen
obey an instruction
einen
Befehl ausführen
complete an instruction
einen
Befehl erkennen
recognize an instruction
einen
Befehl im Hauptspeicher wiederauffinden
retrieve an instruction from main memory
einen
beliebig großen Schaltkreis aus zunehmend komplexen Zellen aufbauen
build up an arbitrarily large circuit out of increasingly complex cells
einen
bestimmten Minimalwert unterschreiten
fall below a certain minimum
einen
Buszyklus von der Bussteuerlogik anfordern
request a bus cycle from the bus control logic
einen
Datensatz suchen
search a set of data
einen
Datenübertragungsblock beenden
end a frame
einen
Datenübertragungsblock beenden
abort a frame
einen
Defekt als unterhalb der Defektgrößengrenze liegend einstufen
classify a defect as non-defective
einen
Durchlauf beenden
terminate a run
einen
Durchsatz von 60 Wafern je Stunde erzielen
realize a throughput of 60 wafers per hour
einen
Durchsatznachteil in Kauf nehmen
suffer a throughput penalty
einen
einzigen Übertragungsweg gemeinsam benutzen
share a single path
einen
Elektronenstrahl rasterartig führen
scan an electron beam
(um eine Maskenstruktur zu schreiben)
einen
Entwurf konzeptionell erarbeiten
conceptualize a design
einen
Fehler in die laufende Operation übertragen
carry over an error to the current operation
einen
Fehler in einem Programm diagnostizieren
diagnose an error in a program
einen
Fehler während der Dateneingabe machen
create an error during data input
einen
Fehlerzustand anzeigen
indicate an error condition
einen
Fehlerzustand hervorrufen
cause an error condition
einen
Fehlerzustand umgehen
bypass an error condition
einen
Fotolack aufschleudern
spin on a photoresist
einen
gewaltigen Aufwand an Entwicklungsarbeit in das Projekt investieren
put a tremendous amount of thought and work into the project
einen
Graben in einen Wafer ätzen
etch a wafer with a groove
einen
großen Teil der Chipfläche einnehmen
consume a large part of the die area
(beanspruchen)
einen
Haufen von Einsen und Nullen eintasten
key in a flock of ones and zeroes
einen
Höchstwert erreichen
peak
einen
Informationsblock auf eine bestimmte Länge auffüllen
make up a block to a fixed size
einen
Job fortsetzen
resume a job
einen
Jobablauf wiederaufnehmen
resume a job
einen
Komparator speisen
feed a comparator
einen
komplexeren Schaltkreis auf einem einzelnen Chip integrieren
integrate an increased amount of circuitry onto a single chip
einen
Maschinenfehler suchen
trace a hardware fault
einen
Maschinenzustand in den Zentralprozessor abrufen
scan a machine state into the central processor
(über Datenabfrageleitung)
einen
Mikroprozessor anschließen
interface toa microprocessor an
einen
Mikroschaltkreis mit einer äußeren Schaltung verbinden
join a microcircuit to an external circuit
einen
Operationskode erkennen
recognize an operation code
einen
programmgemäßen Stopp auslösen
initiate an orderly halt
einen
Programmschritt ausführen
carry out one program step
einen
Prozessor Zwischenschalten
interpose a processor
einen
Satz aus einer Datei eliminieren
eliminate a record from a file
einen
Satz beenden
terminate a record
einen
Schaltkreis schließen
close a circuit
einen
Schaltungsentwurf durch Softwareprogrammierung realisieren
compile a design
einen
Speicherblock freigeben
deallocate a block of memory
einen
Speicherplatz belegen
occupy a location
einen
Sprung zur Programmspeicheradresse 33 befehlen
command a jump to program memory address 33
einen
Streifen über alle Chips schreiben
write one stripe over all chips
einen
Strom von mindestens 3 mA entnehmen
sink at least 3 ma
(ziehen)
einen
Teil der nächsten Adresse bilden
form part of the next address
einen
Teil des Maskenherstellungsprozesses mit geringer Ausbeute umgehen
bypass a low-yielding part of the mask making process
einen
Teil des Programms wiederholen
rerun a portion of the program
einen
Teil des Wafers selektiv abdecken
mask part of the wafer selectively
einen
vernachlässigbaren Energieverbrauch haben
take a negligible drain from the power supply
einen
Versuch durchführen
run a test
einen
vertikalen Übergang von der IC-Ebene zur Substratebene herstellen
make a vertical transition from the level of the IC to the level of the substrate
einen
von zwei möglichen Zuständen annehmen
assume one of two possible states
(z. B. 0 oder 1)
einen
vorgewählten Wert erreichen
reach a preset level
einen
Wafer beschreiben
belichten
write a wafer
(Elektronenstrahllithografie)
einen
Wafer im Step-und-Repeat-Verfahren belichten
expose a wafer in step-repeat fashion
einen
Wafer schrittweise durch 200 Felder strukturieren
pattern a wafer by stepping through 200 fields
einen
Warnton erzeugen
sound an alarm
einen
weiteren Maskierungsschritt für vergrabene Kontakte erfordern
add another mask step for buried contacts
einen
Wellenlängenbereich umfassen
encompass a range of wavelengths
einen
Wert für d/L von annähernd Eins ergeben
give a value of d/L very nearly unity
einen
wesentlichen Zeitaufwand erfordern
require a significant amount of time
Eingabe
eines
Programms in einen Rechner
loading of a program into a computer
elektrische Verbindungen zwischen dem Chip und
einem
Metallschaltkreis herstellen
form electrical connections between the chip and a metal pattern
Elektronenstrahlsonde mit
einem
Durchmesser im Mikrometerbereich
micron-sized electron-beam probe
Elementstruktur mit
einem
Übergang
single-junction device structure
Fehlerfreiheit in
einem
Datensatz
absence of error in a set of data
fehlerhafte Chips mit
einem
Farbpunkt kennzeichnen
mark defective chips with an ink dot
Fehlersuche mit
einem
Mikroprozessor
microprocessor debugging procedure
Fokus mit
einem
Nenndurchmesser von 8 nm
8 nm nominal diameter spot
(Elektronenstrahlmikroskopie)
Folgeschritte in
einem
Bondzyklus
sequential steps in a bond cycle
für
einen
bestimmten Anwendungsfall auslegen
customize
Gesamtherstellungszeit für
einen
Maskensatz vom technischen Entwurf bis zum arbeitsfähigen Bauelement
turn-around for a mask set from an engineering design to a working device
getrennte Schaltkreise auf
einem
gemeinsamen Substrat anordnen
mount separate circuits on a common substrate
getrennte Schaltkreise auf
einem
gemeinsamen Substrat miteinander verbinden
interconnect separate circuits on a common substrate
gleichzeitiges Eintreffen der Daten in
einem
Punkt
arrival of data at one point at the same time
grafische Vorlage für
einen
integrierten Schaltkreis
integrated circuit artwork
grafischer Form auf
einem
Bildschirm erscheinen
appear in graphic form on a terminal screen in
große Datenmengen im On-line-Betrieb in
einem
Zentralprozessor speichern
store large volumes of data on-line to a central processor
Grundschaltung für
einen
Zweirampenumsetzer
basic circuit for a dual-slope converter
Halbleiterbauelemente in
einem
Siliziumchip
semiconductor components in a silicon chip
Halbleiterchips vor dem Einbau
einem
beschleunigten Alterungstest unterziehen
burn- in semiconductor chips prior to assembly
Handschalter zur Informationseingabe in
ein
Computerprogramm
alteration switch
immer mehr Schaltungselemente und Funktionen in
einem
monolithischen Siliziumsubstrat integrieren
pack more and more circuit elements and functions on a monolithic silicon substrate
in
ein
Leiterplattenchassis passen
fit into a mother board
in
ein
Plateau übergehen
level off
in
einem
einzigen Block gruppieren
group into a single block
in
einem
Latch intern speichern
latch internally
in
einem
Spezialrahmen vorjustiert
prealigned in a special frame
in
einem
Temperaturbereich von -50 bis +80 °C arbeiten
work over a -50 to +80 °C range
in
einem
Winkel von 55° geneigt
inclined at an angle of 55 degrees
in
einen
bestimmten
gewünschten
Zustand bringen
condition
in
einen
hochohmigen Zustand setzen
place into a high-impedance state
in
einen
Sperrzustand übergehen
enter a non-conducting state
Informationen auf
ein
anderes Medium umschreiben
transcribe information on to another medium
Informationen auf
einem
Sichtgerät ausschreiben
write out information onto a display screen
Informationen über
einen
Ausgangskanal ausgeben
put information out via an output port
Informationen über
einen
Eingangskanal in die Anlage eingeben
take information into the system via an input port
innerhalb
eines
Wafers einen systematischen Trend aufweisen
trend systematically within a wafer
Integration in
einem
Chip
on-chip integration
integrierte Schaltkreisfertigung in
einem
Halbleiter
semiconductor integrated circuit fabrication
integrierter Schaltkreis auf
einem
Chip
single chip circuit
jedes Strukturelement mit
einem
feinfokussierten Strahl abrastern
scan every element in the pattern with a finely focussed spot beam
jeweils nur
ein
einzelnes Chip belichten
expose only a die at a time
Justiermarkenanordnung auf
einem
Wafer
array of alignment targets on a wafer
Justierung aufeinanderfolgender lithografischer Ebenen auf
einem
Wafer
alignment of successive lithographic levels on a wafer
Justierungsanforderungen von etwa
einem
zehntel Mikrometer
alignment requirements near a tenth-micron
Kodierfehler in
einem
Programm suchen
trace coding errors in a program
Kombinationen auf
einem
Chip
on-chip combinations
(z. B. mit ECL, TTL, JFET)
Kontaktbelichtung von
einer
Maske auf einen Wafer
contact printing from a mask to a wafer
Kontrolle der Abmessungen nach
einem
Mikrodensitometerverfahren
dimensional inspection in a microdensitometer mode
Ladungsträger in
einem
Eigenhalbleiter
intrinsic carrier
Lageplan für
einen
integrierten Schaltkreis
floor plan arrangement for an IC
leere Stelle auf
einem
Speichermedium
empty position on a recording medium
Leiterbahn auf
einem
Substrat
conductive path on a substrate
Leiterplatten in
einen
Kartenkäfig einschieben
slot circuit boards into a card cage
lesbar für
einen
Prozessor
intelligible to a processor
Linien mit
einem
Abstand von 5 Mikrometer auflösen
resolve lines on 5 micron spacing
Linienbreite von annähernd
einem
Mikrometer
NDRO-micrometre line width
Linienrasterstruktur mit
einem
Rastermaß von 1 μm
1-μm-wide line and space pattern
1000 logische Gatter auf
einem
einzigen Chip integrieren
integrate 1000 logic gates on a single chip
μm Strukturbreiten in
einem
großen Variationsbereich von 1,5 μm bis 3,0 μm
features ranging from as small as 1.5 μm to as large as 3.0
manuelle Bedienung auf
ein
Minimum reduzieren
minimize operator involvement
Maskenjustierung durch
ein
Objektiv im Projektionsverfahren
project mask alignment through a lens
mathematisch durch
ein
Polynom darstellen
represent mathematically by a polynomial
Mikrowellenempfänger auf
einem
GaAs-Chip
microwave receiver on a GaAs chip
Mischung aus
einem
Teil Entwickler und einem Teil Wasser
mixture of one part developer to one part water
mit
einem
Abschlußwiderstand versehen
terminate
mit
einem
Digitalrechner koppeln
interface with a digital computer
mit
einem
Einzelbus direkt verbinden
link directly to a single bus
mit
einem
festen Takt arbeiten
operate with a fixed clock
mit
einem
Goldleiter abschließen
terminate with a gold conductor
mit
einem
Impuls durchsteuern
clock through
mit
einem
1 μm dicken Resistfilm beschichten
coat with a one-micron film of photoresist
mit
einem
Maximum bei
peaking at
mit
einem
Normal eichen
calibrate against some standard
mit
einem
Takt auslesen
clock out
(ausgeben)
mit
einem
Takt einschreiben
clock in
(eingeben)
mit
einem
Takt steuern
clock
(versorgen)
mit
einem
Wirkungsgrad von 90 % arbeiten
operate at an efficiency of 90%
mit Photonen auf
einen
Wafer abbilden
image onto a wafer with photons
Montage mehrfacher Felder auf
einem
einzigen Wafer
stitching of multiple fields on a single wafer
nach
einem
anderen Mechanismus arbeiten
function by a different mechanism
nach
einem
anderen Prinzip arbeiten
operate on a different principle
nach
einem
einzelnen Zeichen suchen
search for a single character
Nachtrocknen in
einem
Infrarotofen
postbaking in an infrared oven
nur
ein
Rechteck auf das Objekt abbilden
image only a subrectangle on the target
nur
einen
Lösungstropfen auf die Oberfläche bringen
apply just one drop of solution to the surface
(Schleuderbeschichtung)
Näherung für
ein
Modell mit konzentrierten Elementen
lumped-model approximation
parallele
Ein
- und Ausgabe
parallel input-output
(von Daten)
Parallelübertragung
einer
Maskenstruktur auf ein Substrat
parallel transfer of a mask pattern to a substrate
periodisches
Ein
- und Auslagern
Swapping
Primärstrukturerzeugung mit
einem
seriellen Elektronenstrahl
primary pattern generation with a serial electron beam
Programme auf
einem
Großrechner laufen lassen
commission programs on a mainframe computer
Querschnitt durch
einen
Goldbondhügel
gold bump cross section
Rechtecke mit
einem
Belichtungsstempel belichten
expose rectangles in a single shot
regelmäßige Bildfelder durch Verkleinerung mit
einem
Fotorepeater herstellen
produce arrays of images by photoreduction with a step-and-repeat camera
Retikel für
ein
Bauelement
single-device reticle
Richtigkeit der Justierung zwischen Retikeln in
einem
Satz
correctness of alignment between reticles in a set
Schablone und Wafer durch
einen
gleichmäßigen Abstand trennen
separate photomask and wafer by uniform gap
Schaltkreisstruktur für
einen
Eingangslastfaktor 1 und einen Ausgangslastfaktor 3
circuit structure for a fan-in of 1 and a fan-out of 3
Schaltkreisstrukturen mit 5facher Verkleinerung auf
einen
Wafer projizieren
project IC patterns with a 5:1 reduction ratio onto a wafer
Schichten auf
ein
Substrat aufstäuben
sputter films onto a substrate
(aufsputtern)
Schreibzeit für
einen
Wafer
writing time for a wafer
seinen
Ein
- oder Aus-Zustand während Stromausfällen halten
remember its on or off states during power outages
serielle
Ein
- und Ausgabe
serial input-output
(von Daten)
sich an
einen
Mikroprozessor anschließen lassen
interface with a microprocessor
sich auf
einen
Keramiksockel einsetzen lassen
mount ona ceramic base
sich bei
einem
konstanten Wert sättigen
saturate at a constant value
sich in
einem
gemeinsamen Arbeitspunkt schneiden
cross at a common quiescent point
sich um
einen
festen Faktor unterscheiden
differ by a fixed numerical factor
sich über mehr als
einen
Abfragezyklus erstrecken
span more than one polling cycle
Sonde mit
einem
Durchmesser im Submikrometerbereich
submicron size probe
Spannung an
einem
pn-Übergang
voltage across a junction
Sprung in
ein
Unterprogramm
subroutine jump
Stelle in
einem
Datenaufzeichnungsmedium
code position
(z. B. die Stelle für ein gedrucktes Zeichen oder gestanztes Loch)
Steuerband für
einen
automatischen Zeichentisch
steering tape for an automated plotting table
Steuerpult für
ein
Entwicklungssystem
development system console
Streben nach mehr Funktionsmöglichkeiten auf
einem
Chip
drive for more on-chip functional capabilities
Strukturdaten aus
einem
Speicher lesen
read data from a pattern memory
Strukturdetails mit
einem
mehr oder weniger hohen Genauigkeitsgrad abbilden
reproduce pattern details to a greater or lesser degree of accuracy
Strukturelemente unter
einem
Mikrometer kopieren
duplicate features smaller than one micron
Strukturelementgröße auf
einem
Chip
die pattem feature dimension
Teilfelder zu
einem
großen Chip zusammenfügen
stitch together subfields to a large chip
Transkription auf
ein
Eingabemedium
transcription to an input medium
um
einen
bekannten Betrag versetzt
offset by a known amount
um
einen
Faktor von 0,8 skalieren
scale by a factor of 0.8
unter
einem
Winkel von 90° auf das Substrat treffen
strike the substrate at 90°
unter
einem
Winkel von 30° schrägbedampfen
shadow at an angle of 30°
unter
einen
kritischen Wert abfallen
fall below a critical value
Unterbrechung an
einem
einzelnen Eingang
single input interrupt
von
einem
anderen Programm aufgerufen
called by another program
von
einem
Magnetspeichermedium auslesen
read from a magnetic memory medium
vor
einem
Stromausfall auf Batterie umschalten
switch to battery prior to a power failure
weniger Plattenraum einnehmen als
ein
Chipträger mit 64 Anschlüssen
take up less board space than a 64-pin chip carrier
Widerstandswerte mit
einem
Laserstrahl abstimmen
adjust resistance values by a laser beam
wieder zu
einem
einzigen Wort zusammensetzen
re-assemble into a single word
Zehntausende elektronischer Funktionen in
ein
Einzelchip integrieren
pack tens of thousands of electronic functions into a single chip
zu
einem
elliptischen Querschnitt verzerren
distort to an elliptical cross section
(Elektronenstrahllithografie)
Zusammenfügen mehrfacher Felder auf
einem
einzigen Wafer
stitching of multiple fields on a single wafer
zwei Masken mit ihren Rückseiten zueinander auf
einen
Träger einsetzen
place two masks back-to-back on a carrier
Zweischichtfolie auf
einem
Pyrexring
two-layer membrane supported by a pyrex ring
über
einen
Netzschalter ein- oder ausschalten
switch on or off via a mains contactor
über parallele
Ein
- und Ausgabeleitungen lesen
read via parallel input and output lines
über 100 000 Transistoren in
einem
Einzelchip integrieren
pack more than 100,000 transistors onto a single chip
Überdeckung von Strukturen verschiedener Masken auf
einem
Substrat mit einer Genauigkeit von 0,1 μm
superposition on a substrate of patterns from several masks to a precision of 0.1 μm
Überdeckungsgenauigkeit von zwei Ebenen auf
einem
Wafer
overlay precision of two levels on a wafer
Überdekkung der Schichten auf
einem
Wafer
layer-to-layer overlay on a wafer
Übergang von
einem
stabilen Zustand in den anderen
transition from one stable state to the other
Überleitung der Plasmachemie in
ein
Produktionsmittel für hochintegrierte Schaltkreise
transformation of plasma chemistry into a VLSI production tool
Überwachung von
einem
zentralen Schaltpult
monitoring from a central console
Get short URL