Scheibenrepeater

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Abbildungsprozeß eines Scheibenrepeaters	imaging process of a step-and-repeat aligner
Belichtung mit Scheibenrepeater	optical wafer-stepping exposure
nicht nach dem Projektionsprinzip arbeitender Scheibenrepeater	non-projection stepping equipment
Produktivität eines Scheibenrepeaters	stepper throughput
Scheibenrepeater der zweiten Generation	second-generation step-and-repeat aligner
Scheibenrepeater für Direktbelichtung	direct wafer stepping machine
Scheibenrepeater mit 10 fach verkleinerter schrittweiser Projektionsübertragung	direct-step-on-wafer 10:1 projection aligner
Scheibenrepeater mit 10facher Projektionsverkleinerung	10:1 optical stepper
Scheibenrepeater mit optischer Projektion	project-reduction aligner
Scheibenrepeater mit 10:1-Projektion	direct-step-on-wafer system using 10:1 optical projection
Scheibenrepeater mit Wfacher Bildverkleinerung	10:1 direct-write aligner
Scheibenrepeater mit zehnfacher Projektionsverkleinerung	10:1 stepper system
Scheibenrepeater mit zehnfacher Verkleinerung	10x stepper
Waferdirektbelichtung mit Scheibenrepeater	wafer stepping (schrittweiser Projektionsübertragung)