Scheibenrepeater

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Subject	German	English
microel.	Abbildungsprozeß eines Scheibenrepeaters	imaging process of a step-and-repeat aligner
microel.	Belichtung mit Scheibenrepeater	optical wafer-stepping exposure
microel.	nicht nach dem Projektionsprinzip arbeitender Scheibenrepeater	non-projection stepping equipment
microel.	Produktivität eines Scheibenrepeaters	stepper throughput
microel.	Scheibenrepeater der zweiten Generation	second-generation step-and-repeat aligner
microel.	Scheibenrepeater für Direktbelichtung	direct wafer stepping machine
microel.	Scheibenrepeater mit 10 fach verkleinerter schrittweiser Projektionsübertragung	direct-step-on-wafer 10:1 projection aligner
microel.	Scheibenrepeater mit 10facher Projektionsverkleinerung	10:1 optical stepper
microel.	Scheibenrepeater mit optischer Projektion	project-reduction aligner
microel.	Scheibenrepeater mit 10:1-Projektion	direct-step-on-wafer system using 10:1 optical projection
microel.	Scheibenrepeater mit Wfacher Bildverkleinerung	10:1 direct-write aligner
microel.	Scheibenrepeater mit zehnfacher Projektionsverkleinerung	10:1 stepper system
microel.	Scheibenrepeater mit zehnfacher Verkleinerung	10x stepper
microel.	Waferdirektbelichtung mit Scheibenrepeater	wafer stepping (schrittweiser Projektionsübertragung)