Fotolithografie – phrases

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Beschränkung der Fotolithografie	limitation of optical lithography
Fotolithografie mit direkter Waferbelichtung	direct-step-on-wafer photolithography
Fotolithografie mit extrem kurzwelligem UV-Licht	deep UV photolithography
Fotolithografie mit Step-und-Repeat-Verfahren	optical stepper lithography
Fotolithografie mit verkleinerter Projektionsübertragung	reduction projection photolithography
kontaktloses Verfahren der Fotolithografie	non-contact technique of photolithography
Licht-Fotolithografie	optical lithography
Strukturen mit der herkömmlichen Fotolithografie reproduzieren	reproduce patterns by conventional photolithography (duplizieren)