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Terms
for subject
Microelectronics
containing
Feld
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all forms
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exact matches only
German
English
Anlage für Belichtung des gesamten
Feldes
total-field exposure system
Belichtung kleinerer
Felder
im Step-und-Repeat-Verfahren
step-repeat exposure of smaller fields
das nächste zu schreibende
Feld
anfahren
move to the next field to be written
den Elektronenstrahl rasterförmig über ein
Feld
von 64 μm × 64 μm ablenken
deflect the electron beam in a raster over a 64μm square field
den Strahl in der Mitte eines
Feldes
positionieren
position the beam at the centre of a field
20 % der kontrollierten
Felder
fälschlicherweise als gut anerkennen
pass 20 % of inspected fields falsely as good
durch elektromagnetische
Felder
fokussieren
focus by electromagnetic fields
durch elektrostatische
Felder
beschleunigen
accelerate by electrostatic fields
ein volles 5 mm × 5 mm-
Feld
abrastern
scan a full 5-mm-square field
einen Wafer schrittweise durch 200
Felder
strukturieren
pattern a wafer by stepping through 200 fields
Einzelbildabstand im Step-und-Repeat-
Feld
die step-and-repeat distance
Felder
aneinanderreihen
stitch together fields
(zusammenheften, montieren)
Felder
genügend genau zusammensetzen
montieren
abut fields sufficiently accurately
(auf großen Chips mit mehreren Belichtungsfeldern)
festes
Feld
fixed field
geebnetes
Feld
flat field
Gleichmäßigkeit der Belichtung in dem
Feld
von 1 cm²
exposure uniformity across the 1 cm² field
Koordinatentischverschiebung zwischen den
Feldern
X-Y stage movement between fields
5 mm x 5 mm-
Felder
rasterförmig im Step-und-Repeat-Verfahren belichten
expose 5 mm x 5 mm fields in step-and-repeat raster-scan fashion
Montage mehrfacher
Felder
auf einem einzigen Wafer
stitching of multiple fields on a single wafer
optimierte Belichtung des größten verfügbaren
Feldes
optimized printing of the largest available field
Projektionsbelichtung des gesamten
Feldes
full-field projection printing
quadratisches
Feld
square field
rechteckiges
Feld
rectangular field
sehr großes elektrisches
Feld
sizeable electric field
Skalierung mit Aufrechterhaltung konstanter elektrischer
Felder
constant-field scaling
Strukturen benachbarter
Felder
genau zusammensetzen
join patterns in adjacent fields properly
(aneinanderreihen)
viele
Felder
in schrittweiser Belichtung aneinanderreihen
step many fields
vom Anwender programmierbares logisches
Feld
field-programmable logic array
zum nächsten
Feld
weiterschreiten
step to the next field
Zusammenfügen mehrfacher
Felder
auf einem einzigen Wafer
stitching of multiple fields on a single wafer
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