Feld – phrases

Terms for subject Microelectronics containing Feld | all forms | exact matches only

German	English
Anlage für Belichtung des gesamten Feldes	total-field exposure system
Belichtung kleinerer Felder im Step-und-Repeat-Verfahren	step-repeat exposure of smaller fields
das nächste zu schreibende Feld anfahren	move to the next field to be written
den Elektronenstrahl rasterförmig über ein Feld von 64 μm × 64 μm ablenken	deflect the electron beam in a raster over a 64μm square field
den Strahl in der Mitte eines Feldes positionieren	position the beam at the centre of a field
20 % der kontrollierten Felder fälschlicherweise als gut anerkennen	pass 20 % of inspected fields falsely as good
durch elektromagnetische Felder fokussieren	focus by electromagnetic fields
durch elektrostatische Felder beschleunigen	accelerate by electrostatic fields
ein volles 5 mm × 5 mm-Feld abrastern	scan a full 5-mm-square field
einen Wafer schrittweise durch 200 Felder strukturieren	pattern a wafer by stepping through 200 fields
Einzelbildabstand im Step-und-Repeat-Feld	die step-and-repeat distance
Felder aneinanderreihen	stitch together fields (zusammenheften, montieren)
Felder genügend genau zusammensetzen montieren	abut fields sufficiently accurately (auf großen Chips mit mehreren Belichtungsfeldern)
festes Feld	fixed field
geebnetes Feld	flat field
Gleichmäßigkeit der Belichtung in dem Feld von 1 cm²	exposure uniformity across the 1 cm² field
Koordinatentischverschiebung zwischen den Feldern	X-Y stage movement between fields
5 mm x 5 mm-Felder rasterförmig im Step-und-Repeat-Verfahren belichten	expose 5 mm x 5 mm fields in step-and-repeat raster-scan fashion
Montage mehrfacher Felder auf einem einzigen Wafer	stitching of multiple fields on a single wafer
optimierte Belichtung des größten verfügbaren Feldes	optimized printing of the largest available field
Projektionsbelichtung des gesamten Feldes	full-field projection printing
quadratisches Feld	square field
rechteckiges Feld	rectangular field
sehr großes elektrisches Feld	sizeable electric field
Skalierung mit Aufrechterhaltung konstanter elektrischer Felder	constant-field scaling
Strukturen benachbarter Felder genau zusammensetzen	join patterns in adjacent fields properly (aneinanderreihen)
viele Felder in schrittweiser Belichtung aneinanderreihen	step many fields
vom Anwender programmierbares logisches Feld	field-programmable logic array
zum nächsten Feld weiterschreiten	step to the next field
Zusammenfügen mehrfacher Felder auf einem einzigen Wafer	stitching of multiple fields on a single wafer

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