 |
Terms for subject Microelectronics containing воздушная подушка | all forms | in specified order only
| Russian | German |
| воздушная подушка | Luftlagerung |
| газофазная эпитаксия с применением воздушной подушки | VLE-Verfahren (в качестве опоры для полупроводниковых пластин) |
| линейный ЛШД каретки координатного стола на воздушной подушке | luftgelagerter Schrittmotor |
| ЛШД с воздушной подушкой | luftgelagerter Schrittmotor |
| на воздушной подушке | luftgelagert |
| парофазная эпитаксия с применением воздушной подушки | VLE-Verfahren (в качестве опоры для полупроводниковых пластин) |
| линейный шаговый двигатель с воздушной подушкой | luftgelagerter Schrittmotor |
| эпитаксия из паровой фазы с применением воздушной подушки | Vapor Levitation Epitaxy |