![]() |
Russian | German |
воздушная подушка | Luftlagerung |
газофазная эпитаксия с применением воздушной подушки | VLE-Verfahren (в качестве опоры для полупроводниковых пластин) |
линейный ЛШД каретки координатного стола на воздушной подушке | luftgelagerter Schrittmotor |
ЛШД с воздушной подушкой | luftgelagerter Schrittmotor |
на воздушной подушке | luftgelagert |
парофазная эпитаксия с применением воздушной подушки | VLE-Verfahren (в качестве опоры для полупроводниковых пластин) |
линейный шаговый двигатель с воздушной подушкой | luftgelagerter Schrittmotor |
эпитаксия из паровой фазы с применением воздушной подушки | Vapor Levitation Epitaxy |