等离子处理 – phrases

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冷壁单片式快速加热处理/微波遥控等离子体多重工艺处理反应器	cold-wall single-wafer rapid thermal/microwave remote-plasma multiprocessing reactor
普林斯顿等离子体热处理实验室	Princeton Plasma Physics Laboratory
氢等离子体预处理	hydrogen plasma pretreatment