електронно-зондовий мікроаналіз(Метод, який використовує електронне або рентгенівське випромінювання для спостереження за твердою поверхнею і кількісного аналізу складових елементів.)
скануючий зондовий мікроскоп(Будь-який мікроскоп, який використовує зонд з наконечником атомних розмірів і сканує ним в растрі поблизу зразка для вимірювання фізичних величин між зондом і поверхнею, щоб отримати зображення)