 |
| English | Ukrainian |
| diffusion pump oil | масло для дифузійного насоса |
| oil backstreaming | натікання пари масла (у вакуумний об'єм) |
| oil-free pumping | безмасляне відкачування |
| oil-free vacuum | безмасляний вакуум (створений без застосування масляних дифузійних насосів) |