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Terms
for subject
Microelectronics
containing
writing
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all forms
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exact matches only
English
German
adjust the beam position during the
writing
of subsequent stripes
die Strahlposition während des Schreibens der folgenden Streifen justieren
area
writing
rate
Flächenschreibgeschwindigkeit
beam
writing
rate
Strahlschreibgeschwindigkeit
beam
writing
speed
Strahlschreibgeschwindigkeit
direct E-beam slice
writing
technique
Direktschreibverfahren mittels Elektronenstrahlen
direct 1×E-beam
writing
on the wafer
Elektronenstrahldirektschreiben auf Wafer
direct 1×E-beam
writing
on the wafer
Direktschreiben der Struktur auf Wafer mit Elektronenstrahl
direct slice
writing
Direktstrukturierung der Halbleiterscheibe
direct wafer
writing
with an electron beam
ES-Direktschreiben
direct wafer
writing
with an electron beam
Direktschreiben mit einem Elektronenstrahl
direct
writing
Direktschreiben
(auf Wafer mit Elektronenstrahlen)
direct
writing
application
Anwendung des direkten Schreibens
direct-
writing
electron-beam system
Elektronenstrahldirektschreiber
direct-
writing
electron-beam technology
Elektronenstrahldirektschreibertechnik
direct
writing
free of proximity effects
Direktschreiben ohne Proximity-Effekte
direct-
writing
machine
Direktschreiber
direct-
writing
manufacturing tool
Direktschreiber für Produktionseinsatz
direct-
writing
mode
Direktschreibverfahren
direct
writing
of the device pattern with a scanning electron beam
Direktschreiben der Bauelementstruktur mit einem Rasterelektronenstrahl
direct
writing
on the wafer
direkte Strukturierung des Wafers
(durch Elektronenstrahlbelichtung)
direct
writing
on the wafer
Direktbelichtung des Wafers
direct
writing
with an electron beam
ES-Direktschreiben
direct
writing
with an electron beam
Direktschreiben mit einem Elektronenstrahl
electron beam direct slice
writing
Elektronenstrahldirektschreiben auf Wafer
electron beam direct-
writing
lithographic system
lithografische Elektronenstrahlanlage für direkte Scheibenbelichtung
electron beam mask
writing
system
Elektronenstrahlmaskenschreiber
electron beam
writing
instrument
Elektronenstrahldirektschreiber
electron beam
writing
instrument
Elektronenstrahlschreiber
electron beam
writing
machine
Elektronenstrahldirektschreiber
electron beam
writing
machine
Elektronenstrahlschreiber
electron-beam direct-
writing
on the wafer
ES-Direktschreiben den Wafer
electron-beam direct-
writing
on the wafer
ES-Direktschreiben auf Wafer
electron-beam direct-
writing
wafer exposure equipment
Elektronenstrahl-Direktschreiberanlage
electron-beam
writing
directly on chip
Direktstrukturierung des Chips durch Elektronenstrahlen
electron-beam
writing
technique
Elektronenstrahlbelichtungsverfahren
field-by-field
writing
feldweises Schreiben
fill in the rectangle by the
writing
beam
das Rechteck mit dem Schreibstrahl ausfüllen
low-resolution
writing
Schreiben mit geringer Auflösung
mask
writing
error
Maskenschreibfehler
mask-
writing
exposure
system
Maskenschreiber
microfabrication of submicron devices by direct
writing
Mikroherstellung von Submikrometerelementen durch Direktbelichtung
pattern-
writing
technique
Strukturschreibverfahren
raster-scan
writing
scheme
Rasterscan-Schreibsystem
read-while-
writing
gleichzeitiges Einlesen und Schreiben
rectangle
writing
technique
Rechteckschreibverfahren
run at
writing
rates of 40 MHz
mit Schreibgeschwindigkeiten von 40 MHz arbeiten
serial electron-beam
writing
serielles Schreiben mit Elektronenstrahl
slow speed in
writing
an entire mask
geringe Geschwindigkeit des Maskenschreibens
step the beam across the
writing
field
den Strahl schrittweise über das Schreibfeld führen
stop point of the
writing
beam
Endlage des Schreibstrahls
strip
writing
Streifenschreiben
subfield vector-
writing
technique
Unterfeldvektorschreibverfahren
substrate
writing
area
Substratschreibfläche
variably shaped
writing
spot
Formstrahl
vector scan
writing
method
Vektorscan-Schreibverfahren
vector scan
writing
scheme
Vektorscan-Schreibregime
writing
accuracy
Schreibgenauigkeit
writing
beam
Schreibstrahl
writing
chamber
Schreibkammer
writing
control program
Bearbeitungssteuerungsprogramm
writing
deflection
Ablenkung fdes Schreibstrahls
writing
field
Schreibfeld
writing
field boundary
Schreibfeldgrenze
writing
of a master mask
Schreiben einer Originalschablone
writing
of the stripe
Schreiben des Streifens
writing
path
Schreibweg
writing
plane
Schreibebene
writing
pulse
Schreibimpuls
writing
scheme
Schreibregime
writing
signal
Schreibsignal
writing
speed improvement
Verbesserung der Schreibgeschwindigkeit
writing
speed improvement
Erhöhung der Schreibgeschwindigkeit
writing
spot
Schreibstrahl
writing
spot
Schreibsonde
writing
strategy
Schreibstrategie
writing
time
Expositionszeit
(Elektronenstrahllithografie)
writing
time
Belichtungszeit
writing
time
Schreibzeit
writing
time comparison
Schreibzeitvergleich
writing
time for a wafer
Schreibzeit für einen Wafer
writing
with an electron beam
Bearbeiten mit Elektronenstrahl
(ES-Lithografie)
writing
with an electron beam
Schreiben mit Elektronenstrahl
(ES-Lithografie)
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