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| English | German |
| bit stream | Bitfluß (der den Elektronenstrahl hell- und dunkeltastet, um die Struktur auf ein resistbeschichtetes Substrat zu schreiben) |
| data stream | Datenfluß |
| data stream length | Datenstromlänge |
| input stream | Dateneingabestrom |
| ion back-stream measurement | Ionenrückstrommessung |
| job input stream | Jobeingabefluß |
| pseudorandom bit stream | Pseudozufallsbitfolge |
| serial bit stream | serieller Bitstrom |
| stream dispense system | Strahlverteilungssystem |
| stream of bits | Bitfluß |
| stream of bits | Bitstrom |
| stream ratio | Definitionshelligkeit |
| take in the digital data stream issuing from various sensors | den von verschiedenen Sensoren ausgehenden digitalen Datenstrom aufnehmen |