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Terms
containing
spot size
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all forms
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exact matches only
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in specified order only
Subject
English
German
microel.
adjustable-size high-energy spot
hochenergetische Sonde mit veränderlichem Durchmesser
microel.
beam
spot size
Strahlsondengröße
microel.
diffraction
spot size
Beugungsfleckgröße
opt.
electron beam
spot size
Größe des Elektronenstrahlflecks
(Elektronenstrahlpunktes)
microel.
electron-beam
spot size
Punktstrahldurchmesser des Elektronenstrahls
microel.
fixed-size spot system
Strahlanlage mit nichtvariabler Sondengröße
tech.
focal
spot size
Fokusabmessung
microel.
on-axis
spot size
axiale Strahlgröße
(Elektronenlithografie)
opt.
scan
spot size
Größe des abtastenden Lichtflecks
opt.
scanning
spot size
Größe des abtastenden Lichtflecks
microel.
scanning
spot size
Größe der Abtastsonde
microel.
shaped-
spot size
Formstrahlgröße
opt.
spot size
Lichtfleckgröße
microel.
spot size
Sondendurchmesser
(Elektronenstrahllithografie)
opt.
spot size
Lichtpunktgröße
tech.
spot size
Punktgröße
microel.
spot size
change on the fly
kontinuierliche Sondengrößenänderung
hi.energ.
spot size
divergence
Emittanz des Strahls
hi.energ.
spot size
divergence
Strahlemittanz
microel.
vary the
spot size
and shape as the feature requires
Durchmesser und Form des Strahlquerschnitts entsprechend dem Strukturelement verändern
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