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Microelectronics
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German
aberrated position
in the
image plane
Fehlerort in der Bildebene
aberration
in the
image
Bildfehler
abrupt break
in the
curve
scharfer Knick in der Kurve
accommodate the complete A-D function into an 18-pin dual-in-line package
die gesamte A-D-Funktion in einem DIP-Gehäuse mit 18 Anschlüssen unterbringen
achieve the null
in the
X-ray detectors
in den Röntgenstrahlendetektoren Nullanzeige erreichen
actual X-Y location of each element
in the
array
tatsächlicher Koordinatenort jedes Elements in der Matrix
adjacent chips
in the
wafer matrix
benachbarte Chips im Scheibenverband
advance continually
in the
x direction
sich kontinuierlich in x-Richtung bewegen
advancing state-of-the-art in semiconductor fabrication processes
fortschreitend höherer Entwicklungsstand der Halbleiterfertigungsverfahren
align each element individually to its corresponding element
in the
previously printed matrix
jedes Element einzeln zu dem entsprechenden Element in der vorher belichteten Struktur justieren
aperture
in the
mask
Öffnung in der Maske
appear as defects
in the
printed image
in dem übertragenen Bild als Defekte erscheinen
avalanche action
in the
collector junction
Lawinenwirkung in der Kollektorsperrschicht
balance
in the
input circuit
Abgleich im Eingangskreis
barrier
in the
surface potential
Barriere im Oberflächenpotential
bond energy
in the
resist molecule
Bindungsenergie im Resistmolekül
bow up to 15 μm
in the
free state
sich im freien Zustand bis zu 15 μm durchbiegen
call up any step
in the
program
jeden Programmschritt aufrufen
call up standard circuit elements stored
in the
library
in der Bibliothek gespeicherte Standardschaltkreiselemente aufrufen
circulate
in the
store without alteration
im Speicher ohne Änderung umlaufen
confine the electrons
in the
discharge region
die Elektronen auf den Entladungsbereich begrenzen
connect the outputs in parallel
die Ausgänge parallelschalten
cutout
in the
polyimide film
Durchbruch im Polyimidfilm
cutout
in the
polyimide film
Ausschnitt im Polyimidfilm
data point
in the
array
Datenpunkt in der Matrix
deflect the electron beam in a raster mode along one axis
den Elektronenstrahl rasterartig in einer Richtung ablenken
deflect the electron beam in a raster over a 64μm square field
den Elektronenstrahl rasterförmig über ein Feld von 64 μm × 64 μm ablenken
delineate a pattem
in the
photoresist film on a wafer
eine Struktur im Fotoresist auf dem Wafer schreiben
belichten
(Elektronenstrahllithografie)
delineation of the desired pattern
in the
resist
Schreiben der gewünschten Struktur im Resist
describe the layout to the computer in terms of its geometry
das Layout für den Computer in Form seiner Strukturanordnung beschreiben
detect a null
in the
X-ray detectors
in den Röntgenstrahlendetektoren eine Null anzeigen
device geometries
in the
1 μm feature region
Bauelementstrukturen im 1-μm-Bereich
diagnose malfunctions
in the
equipment
Fehler im Gerät feststellen
(erkennen)
diffraction of light at the edges of features
in the
patterns
Beugung des Lichts an den Kanten der Strukturelemente
diffusivity of electrons and holes
in the
base
Diffusionsvermögen von Elektronen und Defektelektronen in der Basis
dissolve the layer in water
die Schicht in Wasser lösen
distort the existing data
in the
field
die vorhandenen Daten im Datenfeld verfälschen
drain current
in the
external terminal
Drainstrom im äußeren Anschluß
drive the wafer stage relative to the mask stage in a precise and controlled fashion
den Wafertisch in bezug auf den Maskentisch in einer genau kontrollierten Weise antreiben
(ansteuern)
electronic transition
in the
shell
Elektronenübergang in der Schale
eliminate the operator
in the
wafer handling process to the greatest extent possible
den Operateur im Waferhandhabungsprozeß in größtmöglichem Maße ausschalten
engrave marks
in the
wafer stage
Marken im Wafertisch eingravieren
enter the value into a particular location
in the
data memory
den Wert in einen bestimmten Datenspeicherplatz eingeben
execute instructions in half the time
Befehle in der halben Zeit ausführen
fabrication error
in the
optical system
Fertigungsfehler im optischen System
fail
in the
field
im Einsatz versagen
fall off in Gaussian fashion at the edges
gaußförmig am Rand abfallen
feature dimension
in the
die pattern
Elementgröße in der Einzelbildstruktur
feed the program via an I-O port to a computer for storage in magnetic tape
das Programm über einen Eingabe-Ausgabe-Kanal in einen Computer zur Speicherung auf Magnetband eingeben
fill
in the
feature in a raster-like motion
das Strukturelement in rasterartiger Bewegung ausfüllen
(auspinseln)
fill
in the
rectangle by the writing beam
das Rechteck mit dem Schreibstrahl ausfüllen
flexibility in handling the pattern data
Flexibilität bei der Verarbeitung der Strukturdaten
formation of features
in the
1 μm range
Bildung von Strukturelementen im 1-pm-Bereich
gap
in the
pattern
Abstand in der Struktur
generate cross-linking
in the
polymers
Vernetzung in den Polymeren bewirken
geometry
in the
0.5-to-1 μm range
Strukturen im Bereich von 0,5 bis 1 μm
high degree of repetition
in the
pattern
hoher Wiederholgrad in der Struktur
hook together in building-block fashion to the CPU
sich bausteinartig zur Zentraleinheit zusammenschalten
identification of misplacements
in the
design
Feststellung von fehlerhaften Plazierungen im Entwurf
image an aperture
in the
plane of a second aperture
eine Blende in die Ebene einer zweiten Blende abbilden
image profile
in the
developed resist
Bildprofil im entwickelten Resist
incorporation of strongly absorbing chlorine atoms
in the
resist
Einbau von stark absorbierenden Chloratomen im Resist
increase
in the
upper frequency limit
Erhöhung der oberen Frequenzgrenze
insolubilize the coating
in the
exposed region
die Schicht im belichteten Bereich unlöslich machen
insure exposure in a precise spatial relationship to the mark
die Belichtung in einer genauen räumlichen Beziehung zur Marke gewährleisten
internal stress
in the
resist film
innere Spannung in der Resistschicht
introduce impurities into the wafer in a particular pattern
Fremdatome in den Wafer in einer bestimmten Struktur einbauen
keep the board securely seated
in the
connector
den sicheren Sitz der Leiterplatte in der Steckverbindung gewährleisten
key
in the
value
den Wert eintasten
lay out the logic configurations in pencil on a layout sheet
die logischen Verknüpfungen von Hand auf einem Layoutblatt zeichnen
least dimensions
in the
1 to 2 μm range
kleinste Abmessungen im 1 bis 2-Mikrometerbereich
load the slice
in the
fixture with the front surface up
die Scheibe in die Haltevorrichtung mit der vorderen Oberfläche nach oben einsetzen
locate the lead frame pattern under the bonding tool
in the
x and y directions
den Anschlußkammstreifen unter dem Bondwerkzeug in x- und y-Richtung positionieren
location of the bond pads
in the
corners of a chip
Lage der Bondinseln in den Chipecken
make the high performance lens fully operative
in the
real production world
das Hochleistungsobjektiv unter echten Produktionsbedingungen voll ausnutzen
make the mask in one step from the magnetic tape data
die Maske in einem Bearbeitungsschritt nach den magnetbandgespeicherten Daten herstellen
make the print in proximity
das Bild im Abstandsverfahren belichten
malfunction
in the
equipment
Defekt in der Anlage
malfunction
in the
equipment
Fehler in der Anlage
mask movement
in the
contact position
Maskenbewegung in der Kontaktstellung
match
in the
impedances
Impedanzanpassung
minimize the time spent in debugging
die für Fehlerbeseitigung aufgewandte Zeit verringern
minority carrier storage
in the
base region
Minoritätsträgerspeicherung in der Basiszone
momentary change
in the
bias field
momentane Änderung des Vormagnetisierungsfeldes
mount the substrates
in the
package
die Substrate im Gehäuse installieren
move the beam across the wafer in a raster scan fashion
den Strahl rasterförmig über den Wafer führen
move the wafer in an X-Y raster
den Wafer.in einem X-Y-Raster bewegen
multiplication action
in the
collector junction
Verstärkungswirkung in der Kollektorsperrschicht
on-the-fly change
in the
drive field
momentane Änderung des Treiberfeldes
opening
in the
metal mask
Fenster in der Metallmaske
opening
in the
metal mask
Öffnung in der Metallmaske
openings
in the
resist
Öffnungen im Resist
output a 1 in bit position 0 of the data bus
eine 1 in Bitposition 0 des Datenbusses ausgeben
overlay requirements
in the
submicrometre region
Überdeckungsforderungen im Submikrometerbereich
pattern images on the slice directly
in the
resist
Strukturen auf der Scheibe direkt im Resist herstellen
patterning
in the
submicron range
Strukturierung im Submikrometerbereich
pipeline the execution in three stages
die Verarbeitung fließbandartig in drei Stufen durchführen
place geometries to an accuracy
in the
order of 0.2 micrometres
die Strukturen bis zu einer Genauigkeit von etwa 0,2 Mikrometer positionieren
place successive chips
in the
range of deflection
aufeinanderfolgende Chips in dem Ablenkbereich positionieren
place the information in latches
die Informationen in Speicherflipflops bringen
place the results in store
die Ergebnisse abspeichern
plug the boards
in the
backplane
die Leiterplatten in das Chassis stecken
potential
in the
bulk of the silicon
Potential im massiven Material des Siliziums
precipitation of oxygen
in the
bulk of the silicon wafer
Anlagerung von Sauerstoff im Material des Siliziumwafers
precipitation of oxygen
in the
bulk of the silicon wafer
Ablagerung von Sauerstoff im Material des Siliziumwafers
produce inversion
in the
channel
Inversion im Kanal hervorrufen
progress
in the
microelectronics area
Fortschritte auf dem Mikroelektroniksektor
provide the absolute ultimate in accuracy
das absolute Höchstmaß an Genauigkeit gewähren
put the mask in near proximity to the wafer
die Maske in einen kleinen Abstand zum Wafer bringen
put the processor
in the
wait mode den
Prozessor in den Wartezustand setzen
radiation-induced defect
in the
lattice
strahlungsbedingte Störung im Gitter
radix point
in the
decimal notation system
Stellenwertpunkt im dezimalen Zahlendarstellungssystem
radix point
in the
decimal notation system
Radixpunkt im dezimalen Zahlendarstellungssystem
raster-scan a small image field over the wafer in two dimensions
ein kleines Bildfeld rasterförmig in zwei Koordinatenrichtungen über den Wafer führen
record the responses in a result memory
die Antworten in einem Ergebnisspeicher registrieren
repair the machine quickly in-house
die Anlage am Standort schnell reparieren
(instandsetzen)
retrofit to systems already
in the
field
nachträglich in schon vorhandene Anlagen einbauen
retrofittable to systems
in the
field
in schon existierenden Anlagen nachrüstbar
return the value
in the
shortest possible time
den Wert in der kürzestmöglichen Zeit zurückführen
rotate the slice about its centre
in the
slice plane
die Scheibe um ihren Mittelpunkt in der Scheibenebene drehen
rotate the substrate
in the
ion beam
das Substrat im Ionenstrahl drehen
round-off
in the
division process
Rundung im Divisionsverfahren
save space
in the
memory modules
in Speichermoduln Platz sparen
scan each subfield by the electron beam in a raster
jedes Unterfeld mit dem Elektronenstrahl abrastern
(rasterförmig abtasten)
scan every element
in the
pattern with a finely focussed spot beam
jedes Strukturelement mit einem feinfokussierten Strahl abrastern
search for a new task
in the
task library
nach einer neuen Aufgabe in der Aufgabenbibliothek suchen
sense the errors in position
die Lagefehler erfassen
sharp cutoff
in the
long-wavelength region
steile Absorptionskante im Langwelligen
sharp cutoff
in the
long-wavelength region
steile Kante im Langwelligen
soak the wafer in chlorobenzene
den Wafer in Chlorbenzol tränken
spread the beam in an X-Y raster
den Strahl in einem X-Y-Raster ablenken
squander the remaining chip area in a jumble of interconnections
die verbleibende Chipfläche mit Kreuz- und Querverbindungen vergeuden
step in x-direction from one row to the next
in x-Richtung von einer Zeile zur nächsten fortschreiten
step the electron beam by 0.5 μm
in the
x-direction
den Elektronenstrahl schrittweise um 0,5 μm in x-Richtung führen
store charge
in the
potential well
Ladung in der Potentialmulde speichern
store the data
in the
appropriate location
die Daten in dem entsprechenden Speicherplatz abspeichern
submicron resolution
in the
production of VLST circuits
Submikrometerauflösung in der Herstellung von höchstintegrierten Schaltkreisen
subtract from the image in view the image of one adjacent pattern
von dem betrachteten Bild das Bild einer benachbarten Struktur subtrahieren
swelling
in the
wet development process
Anschwellen im Naßentwicklungsprozeß
swelling
in the
wet development process
Aufquellen im Naßentwicklungsprozeß
synthesize the layout in accordance with the ground rules
das Layout entsprechend den Grundregeln zusammensetzen
take
in the
digital data stream issuing from various sensors
den von verschiedenen Sensoren ausgehenden digitalen Datenstrom aufnehmen
translate the table
in the
x and y directions
den Tisch in x- und y-Richtung verschieben
translation error
in the
y direction perpendicular to the wafer flat
Verschiebungsfehler in y-Richtung senkrecht zum Scheibenanschliff
trap the address of an incorrect word in a latch
die Adresse eines falschen Wortes in einem Latch erfassen
(auffangen)
trap the defects
in the
bulk of the wafer
die Störstellen im massiven Wafermaterial anlagern
trapping
in the
junction region
Einfang im pn-Übergangsbereich
turn the beam on at various points
in the
scan
den Strahl in verschiedenen Stellen im Raster helltasten
upward-compatible surge
in the
supply voltage
Ansteigen der Versorgungsspannung
usable feature size
in the
1.0-2.0 micrometre range
nutzbare Linienbreite firn 1- bis 2-μm-Bereich
usable feature size
in the
1.0-2.0 micrometre range
nutzbare Elementgröße firn 1- bis 2-μm-Bereich
usable feature size
in the
1.0-2.0 micrometre range
nutzbare Strukturbreite firn 1- bis 2-μm-Bereich
use the exposure process in a step and peat mode with individual alignment of each chip area
eine schrittweise Belichtung mit Einzeljustierung jeder Chipfläche durchführen
valence of the semiconductor in its pure form
Valenz des Halbleiters in seinem undotierten Zustand
variation
in the
light intensity
Schwankung der Lichtintensität
write the interpreter in assembly language
das Interpretierprogramm in Assemblersprache schreiben
Get short URL
