 |
|
Тема сообщения: записывающий электронный резист интегр.сх. Уважаемые коллеги!Как будет записывающий в данном контектсе? Отдельно буду признателен за всю фразу целиком! |
|
electron-beam [electron-sensitive] resist записывающий -- такого не знаю и сомневаюсь в правильности термина ( в Гугле нет). |
|
В принципе, это и есть электронорезист (electron-beam resist)- то есть полимерный материал, меняющий растворимость после экспонирования электронным лучом. Но иногда его называют - материалом для записи электронным лучом. В частности, есть патент Electron beam recording media containing 4,4'-bis(3-diazo-3,4-dihydro-4-oxo-1-naphthalene-sulfonyloxy)benzil Document Type and Number:United States Patent 4065306 Link to this page:http://www.freepatentsonline.com/4065306.html Abstract:Recording media comprising a mixture of 4,4'-bis(3-diazo-3,4-dihydro-4-oxo-1-naphthalenesulfonyloxy)benzil and an alkali soluble resin are suitable for recording information with electron beams. These recording media have high sensitivity, high resolving power and can be reproducibly formulated. |
| Ну, recording media (регистрирующая среда), это же, как говорится, другой коленкор. |
| Да никакой не другой это коленокр. Литография! Почитайте состав. Интересно что в качестве электрорнорезиста применяется не производное ПММА, а диазосоединение, которые обычно используются в качестве фоторезистов. Просто написано кудряво! |
|
Спасибо всем! Я изначально поставил recording, но слегка сомневался, с точки зрения процесса понятно, но мало ли какое слово удумают применить. Спасибо за ссылку! |
| Войдите на сайт, чтобы участвовать в форуме |