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epitaxial deposition	эпитаксиальное выращивание
rate of vapour deposition	скорость напыления
thin-film deposition	осаждение тонкой плёнки
vacuum deposition mask	нанесённая методом осаждения в вакууме маска
vacuum deposition technique	метод вакуумного осаждения
vapor deposition	осаждение паровой фазы
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