| |||
electron lithography (Альтернатива рентгенівській літографії; використовує електрони, забезпечує високу роздільну здатність і не вимагає фотошаблону.); electron-beam lithography (Альтернатива рентгенівській літографії; використовує електрони, забезпечує високу роздільну здатність і не вимагає фотошаблону.) |
електронолітографія : 1 phrase in 1 subject |
Microelectronics | 1 |