| |||
Abstandsspalt m (при бесконтактном экспонировании); Belichtungsabstand m (при экспонировании); Quasikontakt m (между фотошаблоном и пластиной при фотолитографии) | |||
Mikrospalt m (Gaist) |
микрозазор : 37 phrases in 3 subjects |
Electronics | 6 |
Microelectronics | 30 |
Technology | 1 |