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ионно-лучевая литография
| с использованием
| тяжёлых ионов
| ионно-лучевая литография | |
| microel. | Ionenstrahllithografie |
| с использованием | |
| gen. | unter Hinzuziehung; unter Benutzung; unter Anwendung; unter Einbeziehung; unter Verwendung |
| busin. | unter Ausnutzung |
| fig. | unter Einsatz |
| тяжёлый ион | |
| chem. | Großion |
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| Ionenstrahllithografie f | |||
| ионно-лучевая литография: 8 phrases in 1 subject |
| Microelectronics | 8 |
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