microel. |
мікроелектромеханічні системи (Мініатюрні пристрої, що мають в своєму складі три компоненти: мікроактюатор, мікросенсор і електронну систему управління. Термін найбільш поширений в США, в Європі для позначення цієї області застосовується термін "мікросистемна технологія" (MST: MicroSystems Technology), в Росії "мікросистемна техніка", в Японії "мікромашини" (micromachines)) |