| |||
"позитивный" метод изоляции каналами (метод наращивания поликристаллического кремния перед вытравливанием изолирующих каналов) | |||
«позитивный» метод изоляции каналами (метод наращивания поликристаллического кремния перед вытравливанием изолирующих каналов) |