| |||
микроэлектромеханические системы (технология изготовления интегральной схемы при производстве микромеханических, оптических, электромеханических и биосенсорных датчиков Игорь_2006) | |||
| |||
микроэлектромеханические системы (технология изготовления интегральной схемы при производстве микромеханических, оптических, электромеханических и биосенсорных датчиков) | |||
English thesaurus | |||
| |||
MEMS | |||
| |||
MEM (US DARPA) |