nano |
выращивание методом газофазного химического осаждения; выращивание методом химического осаждения из газовой фазы; выращивание методом химического осаждения из паровой фазы; рост с применением метода химического осаждения из газовой фазы; рост с применением метода химического осаждения из паровой фазы |