![]() |
German | Russian |
Abstand Maske-Wafer | микрозазор между маской и подложкой (при экспонировании на микрозазоре) |
Abstand Maske-Wafer | зазор между маской и подложкой (при бесконтактном переносе изображения) |
Wafer-Maske-Abstand | зазор между полупроводниковой пластиной и фотошаблоном |