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Terms
for subject
Microelectronics
containing
struktur
|
all forms
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exact matches only
German
English
das Bild zur
Struktur
auf der Maske geometrisch in Beziehung setzen
relate the image to pattern on the mask
die gewünschte
Struktur
maß- und formtreu kopieren
replicate accurately the desired pattern
die
Struktur
auf den Wafer übertragen
transfer the pattern into the wafer
die
Struktur
auf der Maske verkleinern
shrink the pattern on the mask
die
Struktur
auf der zweiten Maske eines Satzes genau wiederholen
repeat the pattern on a second level mask accurately
die
Struktur
aus einer Reihe von Retikelbildern zusammensetzen
photocompose the pattern from a number of reticle images
(montieren)
die
Struktur
direkt auf Wafer schreiben
write the pattern directly on wafers
die
Struktur
durch Belichtung einer Resistschicht erzeugen
generate the pattern by exposing a resist coating
die
Struktur
in Elementarfiguren zerlegen
divide the pattern into basic elements
die
Struktur
mit zehnfacher Vergrößerung zeichnen
draw the pattern at ten times size
die
Struktur
schrittweise auf das Substrat übertragen
step the pattem onto the substrate
die
Struktur
seriell schreiben
write the pattern serially
die
Struktur
von der Maske auf den Wafer abbilden
replicate the pattern from the mask on the wafer
die vollständige
Struktur
für alle Chips in natürlicher Größe der endgültigen Strukturelemente enthalten
contain the complete pattern for all dice at the actual size of the final features
(1 ×)
die zu schreibende
Struktur
zu vorausgehenden justieren
orient the pattern to be written with previous ones
Direktschreiben der
Struktur
auf Wafer mit Elektronenstrahl
direct 1×E-beam writing on the wafer
eine
Struktur
als eine Serie von Belichtungsstempeln unterschiedlicher Breite und Länge spezifizieren
specify a pattern as a series of flashes of varying widths and lengths
eine
Struktur
auf die Maske projizieren
project a pattern onto the mask
eine
Struktur
auf ein Raster schreiben
write a pattern on a grid
eine
Struktur
im Fotoresist auf dem Wafer schreiben
belichten
delineate a pattem in the photoresist film on a wafer
(Elektronenstrahllithografie)
eine
Struktur
in einer Kontaktbelichtungsanlage durch eine Chromschablone belichten
expose a pattern in a contact printer through a chrome mask
eine
Struktur
in elektronenempfindlichem Resist schreiben
draw a pattern in an electron-sensitive resist
eine
Struktur
in Streifen zerlegen
dissect a pattern into stripes
eine
Struktur
mit darunterliegenden zur Überdekkung bringen
register a pattern to underlying ones
eine
Struktur
zu darunterliegenden justieren
align a pattern with underlying ones
Fremdatome in den Wafer in einer bestimmten
Struktur
einbauen
introduce impurities into the wafer in a particular pattern
genau die vorausgehende
Struktur
überdecken
overlie precisely the preceding pattern
geometrische
Struktur
im Mikrometerbereich
micron-sized geometry
hierarchischer Aufbau einer funktionalen
Struktur
von unten nach oben
bottom-brazed-up implementation
im Step-und-Repeat-Verfahren die
Struktur
auf dem Wafer vielfach abbilden
step the pattern across the wafer
(reproduzieren)
in der hierarchischen
Struktur
Tests auf immer höheren Ebenen durchführen
work upward through the hierarchy
in Polymerresist geschriebene
Struktur
mit kleinsten Linienbreiten
narrowest structure written in polymer resist
in Silizium geätzte
Struktur
eines integrierten Schaltkreises
integrated circuit pattern etched in silicon
jedes Element einzeln zu dem entsprechenden Element in der vorher belichteten
Struktur
justieren
align each element individually to its corresponding element in the previously printed matrix
Kontaktkopieren der
Struktur
auf das Bauelementsubstrat
contact printing of the pattern onto the device substrate
mit der
Struktur
auf der Vorderseite in Deckung bringen
register to the front side pattern
periodisch auftretendes
Struktur
-Element
periodic feature
Rechtecke zu einer komplexen
Struktur
zusammensetzen
compose rectangles into a complex pattern
Schreiben der gewünschten
Struktur
im Resist
delineation of the desired pattern in the resist
Struktur
der Gatterebene
gate level pattern
Struktur
der Rückseite
back pattern
Struktur
der Vorderseite
front pattern
Struktur
einer Ebene
level pattern
Struktur
einer unteren Ebene
lower level pattern
Struktur
eines einzelnen Bildfeldes
die pattem
Struktur
endgültiger Größe
final-size pattern
Struktur
für höchstintegrierten Schaltkreis
VLSI pattern
Struktur
mit abgeschrägten Wänden
slanted pattern
(durch Unterätzung)
Struktur
mit Abmessungen im Submikrometerbereich
pattern with submicron geometries
Struktur
mit absichtlich eingeführten Defekten
intentionally defective die pattern
Struktur
mit darunterliegenden Strukturen zur Deckung bringen
overlay a pattern on lower-level patterns eine
Struktur
mit Elementgrößen bis zu 0,5 Mikrometer
pattern with feature sizes to 0.5 micron
Struktur
mit Linien-breiten unter 1 pm
submicron line width pattern
Struktur
mit Linienbreiten von 1 μm
1-μm pattern
Struktur
mit Linienbreiten von 20 nm
pattern of 20 nm wide lines
Struktur
mit niedrigem Integrationsgrad
low-density pattern
Struktur
mit schrägen Bildelementen
pattern with angled figures
Struktur
mit Substrukturen
substructure pattern
Struktur
mit variablem Seitenverhältnis
variable aspect ratio pattern
Struktur
mit vertikalen Wänden
vertical-walled structure
Struktur
unter der Oberfläche
subsurface structure
von dem betrachteten Bild das Bild einer benachbarten
Struktur
subtrahieren
subtract from the image in view the image of one adjacent pattern
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