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Terms
for subject
Microelectronics
containing
struktur
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German
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Abbildungs- und Formtreue der
Strukturen
fidelity of the geometries
Abstand in der
Struktur
gap in the pattern
anpassungsfähig an besondere
Strukturen
adaptable to particular patterns
aus Rechtecken gebildete
Struktur
pattern formed with rectangles
aus Rechtecken zusammengesetzte
Struktur
pattern composed of rectangles
aus Rechteckstempeln zusammengesetzte
Struktur
pattern composed of rectangles
Belichtungsdaten für eine
Struktur
pattern data
das Bild zur
Struktur
auf der Maske geometrisch in Beziehung setzen
relate the image to pattern on the mask
das Fotoresist auf der Oberfläche eines Wafers mit den
Strukturen
eines Retikels belichten
expose the photoresist on the surface of a wafer to the patterns on a reticle
Defektretikel der
Struktur
defect reticle of the pattern
Detailfeinheit der
Struktur
fineness of the structure of the pattern
dichtgepackte
Struktur
high-density pattern
die Entwicklung der
Strukturen
bis in den 1-μm-Bereich vorantreiben
push geometries down to 1 μm area
die gewünschte
Struktur
maß- und formtreu kopieren
replicate accurately the desired pattern
die
Struktur
auf den Wafer übertragen
transfer the pattern into the wafer
die
Struktur
auf der Maske verkleinern
shrink the pattern on the mask
die
Struktur
auf der zweiten Maske eines Satzes genau wiederholen
repeat the pattern on a second level mask accurately
die
Struktur
aus einer Reihe von Retikelbildern zusammensetzen
photocompose the pattern from a number of reticle images
(montieren)
die
Struktur
direkt auf Wafer schreiben
write the pattern directly on wafers
die
Struktur
durch Belichtung einer Resistschicht erzeugen
generate the pattern by exposing a resist coating
die
Struktur
in Elementarfiguren zerlegen
divide the pattern into basic elements
die
Struktur
mit zehnfacher Vergrößerung zeichnen
draw the pattern at ten times size
die
Struktur
schrittweise auf das Substrat übertragen
step the pattem onto the substrate
die
Struktur
seriell schreiben
write the pattern serially
die
Struktur
von der Maske auf den Wafer abbilden
replicate the pattern from the mask on the wafer
die
Strukturen
auf dem Wafer überdecken
overlay the patterns on the wafer
die
Strukturen
auf den Wafer aufbelichten
imprint the patterns on the wafer
die
Strukturen
bis zu einer Genauigkeit von etwa 0,2 Mikrometer positionieren
place geometries to an accuracy in the order of 0.2 micrometres
die
Strukturen
direkt auf die zu bearbeitenden Wafer schreiben
write the patterns directly onto the wafers to be processed
die
Strukturen
matrixartig anordnen
array the patterns
die
Strukturen
zueinander justieren
align the patterns with respect to one another
die vollständige
Struktur
für alle Chips in natürlicher Größe der endgültigen Strukturelemente enthalten
contain the complete pattern for all dice at the actual size of the final features
(1 ×)
die zu schreibende
Struktur
zu vorausgehenden justieren
orient the pattern to be written with previous ones
digitale Beschreibung der
Struktur
digital description of the pattern
Direktschreiben der
Struktur
auf Wafer mit Elektronenstrahl
direct 1×E-beam writing on the wafer
Doppel-Poly-Si-Gate-MOS-
Struktur
double polysilicon-gate MOS structure
durch höhere Schaltkreisdichten geforderte kleinere
Strukturen
finer geometries demanded by higher circuit densities
Ebene in einer hierarchischen
Struktur
hierarchical level
eindimensionale
Struktur
one-dimensional geometry
eine Folge von
Strukturen
aufbringen
impose a succession of patterns
eine
Struktur
als eine Serie von Belichtungsstempeln unterschiedlicher Breite und Länge spezifizieren
specify a pattern as a series of flashes of varying widths and lengths
eine
Struktur
auf die Maske projizieren
project a pattern onto the mask
eine
Struktur
auf ein Raster schreiben
write a pattern on a grid
eine
Struktur
im Fotoresist auf dem Wafer schreiben
belichten
delineate a pattem in the photoresist film on a wafer
(Elektronenstrahllithografie)
eine
Struktur
in einer Kontaktbelichtungsanlage durch eine Chromschablone belichten
expose a pattern in a contact printer through a chrome mask
eine
Struktur
in elektronenempfindlichem Resist schreiben
draw a pattern in an electron-sensitive resist
eine
Struktur
in Streifen zerlegen
dissect a pattern into stripes
eine
Struktur
mit darunterliegenden zur Überdekkung bringen
register a pattern to underlying ones
eine
Struktur
zu darunterliegenden justieren
align a pattern with underlying ones
Einheitlichkeit der
Strukturen
die pattem uniformity
Elektronendurchtunnelung durch die gleichrichtende Sperrschicht der MIS-
Struktur
electron tunnelling through the MIS rectifying barrier
Elektronendurchtunnelung durch die gleichrichtende Sperrschicht der MIS-
Struktur
electron tunneling through the MIS rectifying barrier
elektronenstrahlbelichtete
Struktur
electron-beam-written pattern
Fehler in der Überdeckung zwischen den
Strukturen
pattern misregistration
Fehlerlosigkeit der
Struktur
integrity of the pattern
Formtreue der
Struktur
pattern fidelity
Formtreue der
Struktur
fidelity of the pattern
fotolithografisch belichtete
Struktur
photolithographically printed pattern
Fremdatome in den Wafer in einer bestimmten
Struktur
einbauen
introduce impurities into the wafer in a particular pattern
gemischte
Struktur
merged structure
genau die vorausgehende
Struktur
überdecken
overlie precisely the preceding pattern
geometrische
Struktur
geometry
geometrische
Struktur
im Mikrometerbereich
micron-sized geometry
gleichmäßig verteilte
Struktur
evenly distributed pattern
Gleichmäßigkeit der
Strukturen
die pattem uniformity
große
Strukturen
durch Bildfeldmontage zusammensetzen
photocompose large area patterns
großflächige
Struktur
large-area-area pattern
hierarchischer Aufbau einer funktionalen
Struktur
von unten nach oben
bottom-brazed-up implementation
hintere
Struktur
back pattern
hoher Wiederholgrad in der
Struktur
high degree of repetition in the pattern
im Step-und-Repeat-Verfahren die
Struktur
auf dem Wafer vielfach abbilden
step the pattern across the wafer
(reproduzieren)
immer kleinere
Strukturen
auf den Siliziumwafer aufbelichten
imprint finer and finer geometries onto the silicon wafer
in der hierarchischen
Struktur
Tests auf immer höheren Ebenen durchführen
work upward through the hierarchy
in Polymerresist geschriebene
Struktur
mit kleinsten Linienbreiten
narrowest structure written in polymer resist
in Silizium geätzte
Struktur
eines integrierten Schaltkreises
integrated circuit pattern etched in silicon
innere
Struktur
internal organization
jedes Element einzeln zu dem entsprechenden Element in der vorher belichteten
Struktur
justieren
align each element individually to its corresponding element in the previously printed matrix
kleinere
Strukturen
schreiben
delineate smaller geometries
kleinere
Strukturen
zusammenfügen
stitch together smaller patterns
(montieren)
kleinste Elementbreite der
Struktur
minimum pattern line width
kleinste
Struktur
smallest feature
kleinste
Struktur
minimum geometry
kleinste
Strukturen
von 0,5 μm schreiben
define minimum geometries of 0.5 μm
(mit Elektronenstrahl)
kombinierte
Struktur
merged structure
komplexe
Strukturen
in Teilrechtecke zerlegen
fracture complex geometries into component rectangles
komplizierte
Struktur
complicated geometry
kontaktbelichtete
Struktur
contact-printed pattern
Kontaktkopieren der
Struktur
auf das Bauelementsubstrat
contact printing of the pattern onto the device substrate
Kontrolle der Abmessungen von
Strukturen
integrierter Schaltkreise
dimensional control of integrated circuit patterns
künstlich hergestelltes Objekt mit
Strukturen
artifact with patterns
(Linienbreitestandard)
logische
Struktur
logic design
(Konzeption)
Löcherdurchtunnelungsprozeß durch die gleichrichtende Sperrschicht der Metall-Isolator-Halbleiter-
Struktur
hole tunnelling process through the MIS rectifying barrier
Löcherdurchtunnelungsprozeß durch die gleichrichtende Sperrschicht der Metall-Isolator-Halbleiter-
Struktur
hole tunneling process through the MIS rectifying barrier
1-μm-
Strukturen
one-micrometre geometries
mangelnde Abbildungs- und Formtreue der
Strukturen
infidelity of the geometries
MAOS-
Struktur
metal alumina oxide semiconductor structure
(Metall-Aluminiumoxid-Siliziumdioxid-Halbleiter-Struktur)
Maske mit vervielfältigten
Strukturen
mask carrying replicated patterns
Maßtreue der
Struktur
pattern fidelity
Mikromeßsystem für
Strukturen
im Submikrometerbereich
micromeasurement system for submicron geometries
mit der
Struktur
auf der Vorderseite in Deckung bringen
register to the front side pattern
MTNS-
Struktur
metal thick nitride semiconductor structure
(mit dicker Nitridschicht)
Neujustierung fvon
Strukturen
realignment of patterns
obere
Struktur
front pattern
periodisch auftretendes
Struktur
-Element
periodic feature
Rechtecke zu einer komplexen
Struktur
zusammensetzen
compose rectangles into a complex pattern
regelmäßige Anordnung von
Strukturen
endgültiger Größe
array of final-size patterns
reproduzierbare
Strukturen
von Wafer zu Wafer erhalten
obtain reproducible geometries from wafer to wafer
SAMOS-
Struktur
SAMOS structure
schablonenartige
Struktur
stencil-like pattern
Schreiben der gewünschten
Struktur
im Resist
delineation of the desired pattern in the resist
Schreiben von VLSI-
Strukturen
auf Siliziumwafern
delineation of VLSI patterns on silicon wafers
(Elektronenstrahllithografie)
schrägwandige
Struktur
ramp structure
sich nicht wiederholende
Strukturen
non-repeated geometries
(Formen)
sich wiederholende
Strukturen
repetitive geometries
(Formen)
SNOS-
Struktur
silicon nitride oxide silicon structure
Streifenbreite einer
Struktur
stripe width of a pattern
Struktur
der Gatterebene
gate level pattern
Struktur
der Rückseite
back pattern
Struktur
der Vorderseite
front pattern
Struktur
einer Ebene
level pattern
Struktur
einer unteren Ebene
lower level pattern
Struktur
eines einzelnen Bildfeldes
die pattem
Struktur
endgültiger Größe
final-size pattern
Struktur
für höchstintegrierten Schaltkreis
VLSI pattern
Struktur
mit abgeschrägten Wänden
slanted pattern
(durch Unterätzung)
Struktur
mit Abmessungen im Submikrometerbereich
pattern with submicron geometries
Struktur
mit absichtlich eingeführten Defekten
intentionally defective die pattern
Struktur
mit darunterliegenden Strukturen zur Deckung bringen
overlay a pattern on lower-level patterns eine
Struktur
mit Elementgrößen bis zu 0,5 Mikrometer
pattern with feature sizes to 0.5 micron
Struktur
mit Linien-breiten unter 1 pm
submicron line width pattern
Struktur
mit Linienbreiten von 1 μm
1-μm pattern
Struktur
mit Linienbreiten von 20 nm
pattern of 20 nm wide lines
Struktur
mit niedrigem Integrationsgrad
low-density pattern
Struktur
mit schrägen Bildelementen
pattern with angled figures
Struktur
mit Substrukturen
substructure pattern
Struktur
mit variablem Seitenverhältnis
variable aspect ratio pattern
Struktur
mit vertikalen Wänden
vertical-walled structure
Struktur
unter der Oberfläche
subsurface structure
Strukturen
auf der Scheibe direkt im Resist herstellen
pattern images on the slice directly in the resist
Strukturen
auf resistbeschichteten Wafern abbilden
image patterns on resist-coated wafers
Strukturen
benachbarter Felder genau zusammensetzen
join patterns in adjacent fields properly
(aneinanderreihen)
Strukturen
bis weit in den Submikrometerbereich reproduzieren
replicate patterns well into the submicron level
Strukturen
durch "Auspinseln" belichten
expose geometries by "painting them in"
(Rasterelektronenstrahllithografie)
Strukturen
durch wiederholte Herstellung von Teilfeldern zusammensetzen
build up patterns by repeated generation of subfields
Strukturen
im Bereich von 0,5 bis 1 μm
geometry in the 0.5-to-1 μm range
Strukturen
im Step-und-Repeat-Verfahren direkt auf Wafer übertragen
step and repeat circuit patterns directly on wafers
Strukturen
mit der herkömmlichen Fotolithografie reproduzieren
reproduce patterns by conventional photolithography
(duplizieren)
Strukturen
mit Elementbreiten bis zu 0,2 μm scharf abbilden
define patterns with geometries as small as 0.2 micrometre
Strukturen
mit hohem Integrationsgrad
closely packed geometries
Strukturen
mit hoher Auflösung schreiben
write patterns at high resolution
Strukturen
mit hoher Packungsdichte
closely packed geometries
Strukturen
tief in eine dicke Resistschicht hinein exponieren
expose patterns deep into a thick coating of resist
Strukturen
von 1,0 μm oder mehr erfordern
require geometries of 1.0 μm or greater
treppenartige
Struktur
stepped geometry
(einer Linienkante)
ungleichmäßige
Struktur
uneven structure
Unterteilung einer komplexen
Struktur
subdivision of a complex pattern
Unterteilung einer komplexen
Struktur
partitioning of a complex pattern
Verfahren der Übertragung kleinster
Strukturen
auf die Halbleiterscheibe
direct-step-on-wafer technique
verschmolzene
Struktur
merged structure
Vervielfältigung hochaufgelöster
Strukturen
replication of high-resolution patterns
verzweigte
Struktur
tee structure
von dem betrachteten Bild das Bild einer benachbarten
Struktur
subtrahieren
subtract from the image in view the image of one adjacent pattern
vordere
Struktur
front pattern
zusammengesetzte
Struktur
feature composite
Zusammensetzen komplizierter
Strukturen
stitching of complex patterns
Überdeckung der nächsten
Struktur
overlay of the next pattern
Überdeckung von
Strukturen
verschiedener Masken auf einem Substrat mit einer Genauigkeit von 0,1 μm
superposition on a substrate of patterns from several masks to a precision of 0.1 μm
Überdeckungsfehler in den
Strukturen
pattern misregistration
Überdekkung mit der darunterliegenden
Struktur
registration with the underlying pattern
Überdekkungsübereinstimmung zwischen
Strukturen
matching overlay between patterns
Übertragung der gewünschten
Strukturen
auf den Wafer mit hoher Abbildungs- und Formtreue
high-fidelity transfer of the desired geometries onto the wafer
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