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Abrieb zwischen Maske und Wafermask-to-wafer abrasion
abrupter Übergang an der Grenzschicht zwischen Epitaxieschicht und Substratabrupt transition at the epi-substrate interface
Abstand zwischen den Bondinselnspacing between bond pads
Abstand zwischen den Chipsinter-die spacing
Abstand zwischen den Energiebändernenergy gap
Abstand zwischen den Leitungeninterwire spacing
Abstand zwischen den Objektiveninter-objective spacing
Abstand zwischen Maske und Lackoberflächegap between mask and photoresist surface
Abstand zwischen Maske und Waferspacing between mask and wafer
Abstand zwischen Maske und WaferSeparation between mask and wafer
Abstand zwischen Nachbarelektrodengap between adjacent electrodes
Abstand zwischen Objektiv und Probelens-to-specimen spacing
Abstand zwischen Schablone und Waferproving distance between mask and wafer
Abwägen zwischentrade-off (between)
allmählicher Übergang an der Grenzschicht zwischen Epitaxialschicht und Substratgradual transition at the episubstrate interface
Anschlußgenauigkeit zwischen jedem Streifenbutting accuracy between each strip
austauschbar zwischen Geräteninterchangeable between machines
Belichtungsversatz zwischen Masken- und Waferbilddisplacement between mask and wafer image (z. B. bei Strukturelementen am Rand der Maske in der Röntgenlithografie)
Beziehung zwischen Ausgangsstrom und Eingangsspannungoutput current-input voltage relationship
Bindung zwischen Resist und Siliziumscheibebond between the resist and the silicon wafer
Bindungen zwischen den Polymermole külen auflösenbreak bonds between the polymer molecules
Bindungsenergie zwischen Atomenbinding energy between atoms
das Signal zwischen den Abtastwerten mittelnaverage the signal between samples
Datenübermittlungsabschnitt zwischen Prozessoreninterprocessor communication link
Datenübertragung zwischen zentralem Verarbeitungsrechner und Slave-Prozessorhost-slave transfer
den rechteckigen Querschnitt des Elekronenstrahls zwischen 0,1 und 12 μm Kantenlänge variierenvary the rectangular cross section between 0.1 and 12 μm on a side
Dialog zwischen Bediener und Computeroperator-computer communication
Dialogverkehr zwischen Bediener und Maschineoperator-system interaction
Dialogverkehr zwischen Bediener und Maschineoperator interaction with the machine
die Beziehung zwischen den Blöcken.beschreibendescribe the relationship between blocks
die Differenz zwischen zwei Eingängen verstärkenamplify the difference between two inputs
die Leitung zwischen Source und Drain steuerncontrol the conduction between source and drain
die Lötverbindungen zwischen Chipträger und Leiterplatte zerstörenfracture the solder joints between chip carrier and p.c. board
die Übertragung von Daten zwischen Rechnern ermöglichenallow the transfer of data between computers
Dielektrika zwischen den Schichteninterlevel dielectrics (Ebenen)
durchschnittliche Zeit zwischen zwei Reparaturenmean time to repair
ein Filter zwischen Kondensor und Maske einsetzeninterpose a filter between condenser and mask
einschieben zwischenintersperse with
elektrische Verbindung zwischen Gehäuse und Leiterplattepackage-to-board electrical interconnect
elektrische Verbindungen zwischen dem Chip und einem Metallschaltkreis herstellenform electrical connections between the chip and a metal pattern
Fehler in der Überdeckung zwischen den Strukturenpattern misregistration
Fehler zwischen den Einzelchipsinter-die error
fehlerhafte Justierung zwischen lithografischen Prozessen in der Waferherstellungmisregistration between lithography processes in wafer fabrication
fester Kontakt zwischen Maske und Waferhang contact between mask and wafer
Gesamtwaferdrehung zwischen Ebenenfull-wafer rotation between levels
Grenzfläche zwischen Substrat und Metallabsorbersubstrate-to-metal absorber interface
Grenzschicht zwischen Epitaxialschicht und Substratepi-substrate interface
Grenzschicht zwischen Epitaxieschicht und Substratepitaxy-substrate interface
Grenzschicht zwischen Silizium und Sockelsilicon-header interface
Haftung zwischen Resist und Siliziumscheibebond between the resist and the silicon wafer
Hochtemperaturprozeß zwischen Belichtungenhigh-temperature process between exposures
inniger Kontakt zwischen Schablone und Waferintimate contact between mask and wafer
Isolation zwischen den Leitungeninterline isolation
Isolation zwischen leitenden Schichtenisolation between conducting layers
Isolationszone zwischen den Elektrodeninsulating region between the electrodes
Justierfehler zwischen den Ebeneninterlevel misalignment
Justiergenauigkeit zwischen den Ebenenlevel-to-level alignment accuracy
Kantenabstand zwischen Strukturelementenedge-to-edge separation between features
kleinster auflösbarer Abstand zwischen Linienpaarendetectable minimum distance between line pairs
Kommunikation zwischen Bediener und Computeroperator-computer communication
Kompromiß zwischen Auflösung und Kontrasttrade-off between resolution and contrast
Kontakt zwischen Maske und Wafermask-to-wafer contact
Kontaktfläche zwischen Aufspannvorrichtung und Wafercontact area between chuck and wafer
Kontrast zwischen der Marke und ihrem Umfeldcontrast between the mark and its surroundings
Kontrolle des Abstands zwischen Objektiv und Wafercontrol of the lens-to-wafer spacing
Kontrolle des Abstands zwischen Objektiv und Wafercontrol of the lens-to-wafer separation
Koordinatentischverschiebung zwischen den FeldernX-Y stage movement between fields
Kopplung zwischen Elektrodencoupling between gates
Kopplungsmöglichkeit zwischen Leiterplatte und Testsysteminterfacing capability between the PCB and the test system
Kurzschluß zwischen Zwischenträger und Chiplead-chip shorting
Kurzschluß zwischen Zwischenträger und Chipkantelead to-chip-edge shorting
Lageabweichung zwischen Masken- und Waferbilddisplacement between mask and wafer image (z. B. bei Strukturelementen am Rand der Maske in der Röntgenlithografie)
lichtete Grenzzone zwischen den Chipslight-exposed border between the chips be-
lichtete Randzone zwischen den Chipslight-exposed border between the chips be-
mangelnde Übereinstimmung zwischen dem Logikdiagramm und dem Schaltkreisschemalack of correspondence between the logic diagram and the circuit schematic
Montagegenauigkeit zwischen jedem Streifenbutting accuracy between each strip
ohmscher Kontakt zwischen Metall und Siliziummetal-to-silicon ohmic contact
Projektionsspiegelsystem zwischen Maske und Waferproject mirror system between mask and wafer
Richtigkeit der Justierung zwischen Retikeln in einem Satzcorrectness of alignment between reticles in a set
Schnittstelle zwischen Bauelementanwender und -herstellerbuyer-seller interface
Schnittstellensteuerung zwischen Computer und NachrichtennetzCommunications link controller
Schrägabstand zwischen Drain und Sourceslanting drain-source distance
Signalabschwächung zwischen den Chipssignal attenuation between chips
Spannung zwischen Gate- und Source-Elektrodegate-to-source voltage
Sprung zwischen Strukturelementenjump between pattern features
Sprungzeit zwischen Teilfeldernstepping time between subfields
Streuung zwischen den Elementeninter-element scattering
Strombahn zwischen Emitter und Kollektoremitter-collector path
Strukturüberdeckung zwischen Vorder- und Rückseitefront-to-back pattern registration
Tischverschiebung zwischen jeder Rasterfeldbelichtungmechanical stage motion between each scan field exposure
Trennung zwischen leitenden Schichtenisolation between conducting layers
ungenaue Überdeckung zwischen den Ebenenimprecise level-to-level registration
unparalleler Abstand zwischen Maske und Wafernon-parallel spacing between mask and wafer
Unterschiede zwischen benachbarten Chipstrukturen nach Größe und Lage registrierenrecord differences between adjacent chip patterns by size and location
Verarbeitung zwischen den Abtastungeninter-sample processing
Verbindung zwischen Elektrodencoupling between gates
Verbindung zwischen Schaltkreisenwiring interconnection between circuits
Vergleich zwischen benachbarten Chipbilderncomparison between adjacent dice (Kontrollverfahren)
Verhältnis zwischen Verknüpfungsfunktionen und externen Anschlüssengate-pin ratio
Vernetzung zwischen polymeren Kettencrosslink between polymer chains
Versatz zwischen Masken- und Waferbilddisplacement between mask and wafer image (z. B. bei Strukturelementen am Rand der Maske in der Röntgenlithografie)
Vertikalverbindung zwischen zwei Schichtenvertical connection between two layers
Wafer zwischen Geräten austauschenexchange wafers between machines
Wechselwirkung zwischen Elektronenelectron-electron interaction
Zahl fder Eingangs-Ausgangs-Anschlüsse zwischen 16 und 84input-output counts ranging from 16 to 84
zwischen Schaltungspunkten auftretendinternodal
zwischen zwei Schichten anordnensandwich between
zwischen zwei Zifferninterdigital
Zwischenschicht zwischen dem oberen und unteren Resistintermediate layer between the top and bottom resists
Überdeckung fder Maskenbilder zwischen den Ebenenregistration of the mask images from level to level
Überdeckung zwischen den Ebenenlevel-to-level registration
Überdeckung zwischen den Schichtenlayer-to-layer registration
Überdeckung zwischen oberer und unterer Masketop-to-bottom registration (doppelseitige Fotolithografie)
Überdeckungsfehler zwischen den Ebeneninterlevel misalignment
Überdeckungsfehler zwischen Maskenregistration error between masks
Überdeckungsfehler zwischen Schaltkreisebenen auf dem Wafermisregistration between circuit levels on the wafer
Überdeckungsfehler zwischen zwei Schaltkreisebenen auf dem Wafermisregistration of one circuit level to another on the wafer
Überdeckungstoleranz von 0,1 μm zwischen den Ebenenlevel to-level registration tolerance of 0.1 μm
Überdekkungsgenauigkeit zwischen den Ebenenlevel-to-level registration accuracy
Überdekkungsübereinstimmung zwischen Strukturenmatching overlay between patterns
Übergang zwischen den Bänderninterband transition
Übergang zwischen den Bändernband-band transition
Übergang zwischen Substrat und Kanalsubstrate-to-channel junction
Übertragungskanal zwischen Prozessoreninterprocessor communication channel