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Microelectronics
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German
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Abrieb
zwischen
Maske und Wafer
mask-to-wafer abrasion
abrupter Übergang an der Grenzschicht
zwischen
Epitaxieschicht und Substrat
abrupt transition at the epi-substrate interface
Abstand
zwischen
den Bondinseln
spacing between bond pads
Abstand
zwischen
den Chips
inter-die spacing
Abstand
zwischen
den Energiebändern
energy gap
Abstand
zwischen
den Leitungen
interwire spacing
Abstand
zwischen
den Objektiven
inter-objective spacing
Abstand
zwischen
Maske und Lackoberfläche
gap between mask and photoresist surface
Abstand
zwischen
Maske und Wafer
spacing between mask and wafer
Abstand
zwischen
Maske und Wafer
Separation between mask and wafer
Abstand
zwischen
Nachbarelektroden
gap between adjacent electrodes
Abstand
zwischen
Objektiv und Probe
lens-to-specimen spacing
Abstand
zwischen
Schablone und Wafer
proving distance between mask and wafer
Abwägen
zwischen
trade-off
(between)
allmählicher Übergang an der Grenzschicht
zwischen
Epitaxialschicht und Substrat
gradual transition at the episubstrate interface
Anschlußgenauigkeit
zwischen
jedem Streifen
butting accuracy between each strip
austauschbar
zwischen
Geräten
interchangeable between machines
Belichtungsversatz
zwischen
Masken- und Waferbild
displacement between mask and wafer image
(z. B. bei Strukturelementen am Rand der Maske in der Röntgenlithografie)
Beziehung
zwischen
Ausgangsstrom und Eingangsspannung
output current-input voltage relationship
Bindung
zwischen
Resist und Siliziumscheibe
bond between the resist and the silicon wafer
Bindungen
zwischen
den Polymermole külen auflösen
break bonds between the polymer molecules
Bindungsenergie
zwischen
Atomen
binding energy between atoms
das Signal
zwischen
den Abtastwerten mitteln
average the signal between samples
Datenübermittlungsabschnitt
zwischen
Prozessoren
interprocessor communication link
Datenübertragung
zwischen
zentralem Verarbeitungsrechner und Slave-Prozessor
host-slave transfer
den rechteckigen Querschnitt
des Elekronenstrahls
zwischen
0,1 und 12 μm Kantenlänge variieren
vary the rectangular cross section between 0.1 and 12 μm on a side
Dialog
zwischen
Bediener und Computer
operator-computer communication
Dialogverkehr
zwischen
Bediener und Maschine
operator-system interaction
Dialogverkehr
zwischen
Bediener und Maschine
operator interaction with the machine
die Beziehung
zwischen
den Blöcken.beschreiben
describe the relationship between blocks
die Differenz
zwischen
zwei Eingängen verstärken
amplify the difference between two inputs
die Leitung
zwischen
Source und Drain steuern
control the conduction between source and drain
die Lötverbindungen
zwischen
Chipträger und Leiterplatte zerstören
fracture the solder joints between chip carrier and p.c. board
die Übertragung von Daten
zwischen
Rechnern ermöglichen
allow the transfer of data between computers
Dielektrika
zwischen
den Schichten
interlevel dielectrics
(Ebenen)
durchschnittliche Zeit
zwischen
zwei Reparaturen
mean time to repair
ein Filter
zwischen
Kondensor und Maske einsetzen
interpose a filter between condenser and mask
einschieben
zwischen
intersperse with
elektrische Verbindung
zwischen
Gehäuse und Leiterplatte
package-to-board electrical interconnect
elektrische Verbindungen
zwischen
dem Chip und einem Metallschaltkreis herstellen
form electrical connections between the chip and a metal pattern
Fehler in der Überdeckung
zwischen
den Strukturen
pattern misregistration
Fehler
zwischen
den Einzelchips
inter-die error
fehlerhafte Justierung
zwischen
lithografischen Prozessen in der Waferherstellung
misregistration between lithography processes in wafer fabrication
fester Kontakt
zwischen
Maske und Wafer
hang contact between mask and wafer
Gesamtwaferdrehung
zwischen
Ebenen
full-wafer rotation between levels
Grenzfläche
zwischen
Substrat und Metallabsorber
substrate-to-metal absorber interface
Grenzschicht
zwischen
Epitaxialschicht und Substrat
epi-substrate interface
Grenzschicht
zwischen
Epitaxieschicht und Substrat
epitaxy-substrate interface
Grenzschicht
zwischen
Silizium und Sockel
silicon-header interface
Haftung
zwischen
Resist und Siliziumscheibe
bond between the resist and the silicon wafer
Hochtemperaturprozeß
zwischen
Belichtungen
high-temperature process between exposures
inniger Kontakt
zwischen
Schablone und Wafer
intimate contact between mask and wafer
Isolation
zwischen
den Leitungen
interline isolation
Isolation
zwischen
leitenden Schichten
isolation between conducting layers
Isolationszone
zwischen
den Elektroden
insulating region between the electrodes
Justierfehler
zwischen
den Ebenen
interlevel misalignment
Justiergenauigkeit
zwischen
den Ebenen
level-to-level alignment accuracy
Kantenabstand
zwischen
Strukturelementen
edge-to-edge separation between features
kleinster auflösbarer Abstand
zwischen
Linienpaaren
detectable minimum distance between line pairs
Kommunikation
zwischen
Bediener und Computer
operator-computer communication
Kompromiß
zwischen
Auflösung und Kontrast
trade-off between resolution and contrast
Kontakt
zwischen
Maske und Wafer
mask-to-wafer contact
Kontaktfläche
zwischen
Aufspannvorrichtung und Wafer
contact area between chuck and wafer
Kontrast
zwischen
der Marke und ihrem Umfeld
contrast between the mark and its surroundings
Kontrolle des Abstands
zwischen
Objektiv und Wafer
control of the lens-to-wafer spacing
Kontrolle des Abstands
zwischen
Objektiv und Wafer
control of the lens-to-wafer separation
Koordinatentischverschiebung
zwischen
den Feldern
X-Y stage movement between fields
Kopplung
zwischen
Elektroden
coupling between gates
Kopplungsmöglichkeit
zwischen
Leiterplatte und Testsystem
interfacing capability between the PCB and the test system
Kurzschluß
zwischen
Zwischenträger und Chip
lead-chip shorting
Kurzschluß
zwischen
Zwischenträger und Chipkante
lead to-chip-edge shorting
Lageabweichung
zwischen
Masken- und Waferbild
displacement between mask and wafer image
(z. B. bei Strukturelementen am Rand der Maske in der Röntgenlithografie)
lichtete Grenzzone
zwischen
den Chips
light-exposed border between the chips be-
lichtete Randzone
zwischen
den Chips
light-exposed border between the chips be-
mangelnde Übereinstimmung
zwischen
dem Logikdiagramm und dem Schaltkreisschema
lack of correspondence between the logic diagram and the circuit schematic
Montagegenauigkeit
zwischen
jedem Streifen
butting accuracy between each strip
ohmscher Kontakt
zwischen
Metall und Silizium
metal-to-silicon ohmic contact
Projektionsspiegelsystem
zwischen
Maske und Wafer
project mirror system between mask and wafer
Richtigkeit der Justierung
zwischen
Retikeln in einem Satz
correctness of alignment between reticles in a set
Schnittstelle
zwischen
Bauelementanwender und -hersteller
buyer-seller interface
Schnittstellensteuerung
zwischen
Computer und Nachrichtennetz
Communications link controller
Schrägabstand
zwischen
Drain und Source
slanting drain-source distance
Signalabschwächung
zwischen
den Chips
signal attenuation between chips
Spannung
zwischen
Gate- und Source-Elektrode
gate-to-source voltage
Sprung
zwischen
Strukturelementen
jump between pattern features
Sprungzeit
zwischen
Teilfeldern
stepping time between subfields
Streuung
zwischen
den Elementen
inter-element scattering
Strombahn
zwischen
Emitter und Kollektor
emitter-collector path
Strukturüberdeckung
zwischen
Vorder- und Rückseite
front-to-back pattern registration
Tischverschiebung
zwischen
jeder Rasterfeldbelichtung
mechanical stage motion between each scan field exposure
Trennung
zwischen
leitenden Schichten
isolation between conducting layers
ungenaue Überdeckung
zwischen
den Ebenen
imprecise level-to-level registration
unparalleler Abstand
zwischen
Maske und Wafer
non-parallel spacing between mask and wafer
Unterschiede
zwischen
benachbarten Chipstrukturen nach Größe und Lage registrieren
record differences between adjacent chip patterns by size and location
Verarbeitung
zwischen
den Abtastungen
inter-sample processing
Verbindung
zwischen
Elektroden
coupling between gates
Verbindung
zwischen
Schaltkreisen
wiring interconnection between circuits
Vergleich
zwischen
benachbarten Chipbildern
comparison between adjacent dice
(Kontrollverfahren)
Verhältnis
zwischen
Verknüpfungsfunktionen und externen Anschlüssen
gate-pin ratio
Vernetzung
zwischen
polymeren Ketten
crosslink between polymer chains
Versatz
zwischen
Masken- und Waferbild
displacement between mask and wafer image
(z. B. bei Strukturelementen am Rand der Maske in der Röntgenlithografie)
Vertikalverbindung
zwischen
zwei Schichten
vertical connection between two layers
Wafer
zwischen
Geräten austauschen
exchange wafers between machines
Wechselwirkung
zwischen
Elektronen
electron-electron interaction
Zahl fder Eingangs-Ausgangs-Anschlüsse
zwischen
16 und 84
input-output counts ranging from 16 to 84
zwischen
Schaltungspunkten auftretend
internodal
zwischen
zwei Schichten anordnen
sandwich between
zwischen
zwei Ziffern
interdigital
Zwischenschicht
zwischen
dem oberen und unteren Resist
intermediate layer between the top and bottom resists
Überdeckung fder Maskenbilder
zwischen
den Ebenen
registration of the mask images from level to level
Überdeckung
zwischen
den Ebenen
level-to-level registration
Überdeckung
zwischen
den Schichten
layer-to-layer registration
Überdeckung
zwischen
oberer und unterer Maske
top-to-bottom registration
(doppelseitige Fotolithografie)
Überdeckungsfehler
zwischen
den Ebenen
interlevel misalignment
Überdeckungsfehler
zwischen
Masken
registration error between masks
Überdeckungsfehler
zwischen
Schaltkreisebenen auf dem Wafer
misregistration between circuit levels on the wafer
Überdeckungsfehler
zwischen
zwei Schaltkreisebenen auf dem Wafer
misregistration of one circuit level to another on the wafer
Überdeckungstoleranz von 0,1 μm
zwischen
den Ebenen
level to-level registration tolerance of 0.1 μm
Überdekkungsgenauigkeit
zwischen
den Ebenen
level-to-level registration accuracy
Überdekkungsübereinstimmung
zwischen
Strukturen
matching overlay between patterns
Übergang
zwischen
den Bändern
interband transition
Übergang
zwischen
den Bändern
band-band transition
Übergang
zwischen
Substrat und Kanal
substrate-to-channel junction
Übertragungskanal
zwischen
Prozessoren
interprocessor communication channel
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