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Terms
for subject
Microelectronics
containing
Justierung
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all forms
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exact matches only
German
English
automatische
Justierung
durch das Objektiv
automatic alignment through the lens
automatische
Justierung
durch Objektiv und Retikel
through-focal-the-lens through-the-reticle automatic alignment
außeraxiale
Justierung
off-axis alignment
Beleuchtungsvorrichtung für
Justierung
alignment illuminator
chipweise
Justierung
die-by-die alignment
chipweise
Justierung
field-by-field alignment
chipweise
Justierung
exposure-by-exposure alignment
chipweise
Justierung
alignment by die
Detektorsystem für
Justierung
alignment detection system
die Belichtungswellenlängen während der
Justierung
sperren
block exposing wavelengths during alignment
die
Justierung
der Marken neu kontrollieren
recheck the alignment of the marks
die
Justierung
durch alle Maskierungsschritte hindurch aufrechterhalten
keep each of the mask steps aligned
die
Justierung
mechanisch aufrechterhalten
maintain alignment mechanically
die
Justierung
nach Symmetrie durchführen
perform alignment by symmetry
die ungenaue
Justierung
nahezu eliminieren
reduce misalignment to near-zero
ein zuverlässigeres Signal für die
Justierung
liefern
provide a more reliable signal for registration
einmalige
Justierung
je Wafer
one-time alignment per wafer
fehlerhafte φ-
Justierung
rotational misalignment
fehlerhafte
Justierung
misregistration
fehlerhafte
Justierung
misalignment
fehlerhafte
Justierung
zwischen lithografischen Prozessen in der Waferherstellung
misregistration between lithography processes in wafer fabrication
Feinjustiersystem für gleichbleibend genaue
Justierung
fine alignment system for consistently accurate alignment
getrennte Lichtquellen für
Justierung
und Belichtung
separate light sources for alignment and exposure
Hebel für X-Y-
Justierung
joystick for X- and Y-axis alignment
individuelle
Justierung
der Bildfelder
die-by-die alignment
individuelle
Justierung
der Bildfelder
exposure-by-exposure alignment
individuelle
Justierung
der Bildfelder
individual alignment of image fields
individuelle
Justierung
der Bildfelder
alignment by die
Justierung
aufeinanderfolgender lithografischer Ebenen auf einem Wafer
alignment of successive lithographic levels on a wafer
Justierung
durch das Objektiv
through-focal-the-lens alignment
Justierung
in φ-Richtung
rotational alignment
Justierung
von Ebene zu Ebene
interlevel alignment
Justierung
von Maske zu Wafer
mask-to-wafer registration
Justierung
von Substrat zu Maske
substrate-to-mask alignment
Justierung
von Wafer zu Retikel
wafer-to-master reticle alignment
laserinterferometrische
Justierung
laser-annealed-interferometric alignment
manuelle
Justierung
des gesamten Wafers
full-wafer manual alignment
Reproduzierbarkeit der automatischen
Justierung
repeatability of automatic alignment
Reproduzierbarkeit der
Justierung
alignment repeatability
Richtigkeit der
Justierung
zwischen Retikeln in einem Satz
correctness of alignment between reticles in a set
Substrathandhabung und -
justierung
substrate handling and alignment
ungenaue
Justierung
misalignment
Wafermarke für automatische
Justierung
auto align wafer target
Wafermarke für manuelle
Justierung
manual-align wafer target
Z-
Justierung
Z adjustment
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