Russian | German |
вакуумное удержание | Vakuumaufspannung (подложки) |
время удержания | Haltezeit (параметр триггера или счётчика) |
время удержания на выходе | Ausgangshaltezeit |
длительность удержания плазмы | Plasmalebensdauer |
ток удержания | Haltestrom (тиристора) |
установка контактной фотолитографии с вакуумным удержанием полупроводниковой пластины | Vakuum-Kontaktjustier und Belichtungsanlage |