Russian | German |
изоляция элементов ИС V-образными канавками | VATE-Isolation (сформированными вертикальным анизотропным травлением) |
изоляция V-образными канавками | V-Graben-Isolation |
изоляция элементов ИС V-образными канавками, заполненными поликристаллическим кремнием | V-Graben-Isolation mit Poly-Si-Ausfüllung |
метод изоляции V-образными канавками | V-Groove-Prozess |
метод изоляции элементов ИС V-образными канавками | V-ATE-Verfahren |
метод изоляции элементов ИС V-образными канавками | VATE-Technik |
метод изоляции V-образными канавками | V-Graben-Prozess |
метод изоляции элементов ИС V-образными канавками, заполненными поликристаллическим кремнием | VIP-Technik |