 |
| Russian | English |
| атомарное действие | atomic action (последовательность операций, которая выполняется под прямым или косвенным управлением прикладного объекта и на которую не влияют внешние воздействия, отказы, а также другие параллельно протекающие работы) |
| атомарное разрешение | atom resolution (электронного микроскопа) |
| вытравливание рисунка в атомарном масштабе | atomic-scale etching |
| легирование слоя атомарной толщины | atomic-layer doping |
| эпитаксия атомарного слоя | atomic-layer epitaxy |