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for subject
Microelectronics
containing
with
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all forms
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exact matches only
English
German
aberration-free optics
with
no defocus
bildfehlerfreie Optik ohne Defokussierung
(optische Projektionslithografie)
align a pattern
with
underlying ones
eine Struktur zu darunterliegenden justieren
align each successive pattem
with
the pattem previously used
jede Folgestruktur mit der vorhergehenden zur Überdekkung bringen
align the lead accurately
with
the bonding pad
die Zwischenträgerbrücke genau zur Bondinsel ausrichten
align the leads
with
the bumps on the die
die Zwischenträgerbrücken zu den Bondhügeln auf dem Chip ausrichten
align the patterns
with
respect to one another
die Strukturen zueinander justieren
all-copper sprocketed strip
with
IC interconnects etched out
perforierter Kupferstreifen mit herausgeätzten Zwischenverbindungen für integrierte Schaltkreise
allow an interrupt to occur in accordance
with
specified priorities
eine Unterbrechung entsprechend den festgelegten Prioritäten zulassen
AND the address
with
the write signal
die Adresse durch logisches UND mit dem Schreibsignal verbinden
array
with
128 photodiodes on 0.1 mm pitch
Anordnung mit 128 Fotodioden im Rastermaß von 0,1 mm
artifact
with
patterns
künstlich hergestelltes Objekt mit Strukturen
(Linienbreitestandard)
bi-level structure
with
no interlayer
Zweischichtstruktur ohne Zwischenschicht
bondable
with
a positive resist
bindungsfähig mit einem Positivresist
bonded
with
outer lead tooling
Außenbonder
bring alignment targets into coincidence
with
targets on the wafer
Justiermarken mit den Marken auf dem Wafer zur Deckung bringen
bring the resist into direct contact
with
the mask
das Resist in direkten Kontakt mit der Maske bringen
build up faster
with
SiH₄ than with other gases
sich bei Silan schneller bilden als bei anderen Gasen
centred
with
respect to the reticle marks
in bezug auf die Retikelmarken zentriert
chamber
with
a stable temperature
Kammer mit konstanter Temperatur
charge pulse
with
initial amplitude Po
Ladungsimpuls mit einer Anfangsamplitude Pₒ
chip on tape bonded
with
gold-plated leads
mit vergoldeten Zwischenträgerbrücken gebondetes Chip auf Filmband
circuit
with
least dimensions of 1 μm
Schaltkreis mit kleinsten Abmessungen von 1 μm
coat two resist layers
with
widely different solubilities
zwei Resistschichten mit stark unterschiedlicher Löslichkeit aufbringen
coat wafers
with
photoresist
Wafer mit Fotolack beschichten
coat
with
a one-micron film of photoresist
mit einem 1 μm dicken Resistfilm beschichten
co-dope
with
compensating impurities
mit kompensierenden Fremdatomen zusammendotieren
coincide
with
the bonding pads on each die
mit den Bondinseln auf jedem Chip übereinstimmen
combine one lithographic technology
with
others
ein technologisches lithografisches Verfahren mit anderen vereinigen
communicate
with
Daten austauschen mit
communicate
with
in Dialogverkehr treten mit
communicate
with
im Verkehr stehen mit
communication
with
the outside world via electrical signals
Kommunikation mit der Außenwelt über elektrische Signale
configure systems
with
any combination of test features
Anlagen mit beliebiger Kombination von Kontrollparametern zusammenstellen
connect
with
the socket contact
den Anschluß mit dem Sockelkontakt herstellen
connected in parallel
with
parallelgeschaltet mit
construct the entire chip pattern
with
the stage stationary
die gesamte Chipstruktur bei stationärem Tisch erzeugen
cover unevenly
with
resist
ungleichmäßig mit Resist beschichten
define patterns
with
geometries as small as 0.2 micrometre
Strukturen mit Elementbreiten bis zu 0,2 μm scharf abbilden
deflect in synchronism
with
synchron ablenken mit
delineate smaller line widths
with
greater positional accuracy
kleinere Strukturbreiten mit höherer Lagegenauigkeit erzeugen
device geometries
with
submicrometre dimensions
Bauelementstrukturen im Submikrometerbereich
diode transistor logic
with
Zener diodes
Dioden-Transistor-Logik mit Z-Dioden
direct wafer exposure
with
electron beams
direkte Waferbelichtung mit Elektronenstrahlen
direct wafer patterning
with
an electron beam
direkte Waferstrukturierung mit einem Elektronenstrahl
direct wafer writing
with
an electron beam
ES-Direktschreiben
direct wafer writing
with
an electron beam
Direktschreiben mit einem Elektronenstrahl
direct writing of the device pattern
with
a scanning electron beam
Direktschreiben der Bauelementstruktur mit einem Rasterelektronenstrahl
direct writing
with
an electron beam
ES-Direktschreiben
direct writing
with
an electron beam
Direktschreiben mit einem Elektronenstrahl
directly interfaceable
with
direkt koppelbar mit
directly interfaceable
with
direkt anschließbar an
dovetail well
with
genau passen zu
dovetail well
with
gut kompatibel sein mit
dovetail well
with
genau abstimmen mit
etch a wafer
with
a groove
einen Graben in einen Wafer ätzen
etch the underlying material
with
dimensional control
das darunterliegende Material unter Beachtung der Abmessungen ätzen
fabricate VLSI circuits
with
1 micron geometries or smaller
VLSI-Schaltkreise mit Strukturabmessungen im Mikrometer- oder Submikrometerbereich herstellen
field-to-field registration
with
benchmarks
feldweise Uberdeckung mit Feinjustiermarken
fill the feature
with
large blocks
das Strukturelement mit großen Belichtungsstempeln ausfüllen
find the fiducial mark
with
an accuracy of 1/32 micron
die Meßmarke mit einer Genauigkeit von 1/32 μm auffinden
fit in well
with
pre-existing technology
mit der schon vorhandenen Technik voll kompatibel sein
flush
with
nitrogen
mit Stickstoff spülen
glass substrate coated
with
a high-resolution emulsion
Glassubstrat mit einer hochauflösenden Emulsionsschicht
grant access to the module
with
the highest priority
Zugang zum Baustein mit der höchsten Priorität gewähren
handshaking
with
busy waiting
Synchronisation durch Quittungsbetrieb mit aktivem Warten
hardware interconnection
with
the microprocessor
Hardwareverbindung mit dem Mikroprozessor
image onto a wafer
with
photons
mit Photonen auf einen Wafer abbilden
image the mask
with
unity magnification
die Maske mit einfacher Vergrößerung abbilden
image
with
a demagnification of 10:1 onto a wafer
mit einer Verkleinerung von 10:1 auf den Wafer abbilden
implanted
with
arsenic
arsenimplantiert
incompatibility
with
printed circuit boards
Unvereinbarkeit mit Leiterplatten
incompatible
with
optimum performance
unvereinbar mit optimaler Leistung
increase almost linearly
with
x
fast linear mit x anwachsen
interact intimately
with
eng in Wechselwirkung Zusammenarbeiten mit
interact
with
wechselwirken mit
interact
with
in Dialogverkehr treten mit
interact
with
the outside world
in Dialogverkehr mit der Außenwelt treten
(stehen)
interact
with
the resist
mit dem Resist wechselwirken
interaction of a focussed electron beam
with
a polymer film
Wechselwirkung eines fokussierten Elektronenstrahls mit einer Polymerschicht
interaction
with
the central computer
Dialogverkehr mit dem Zentralrechner
interface easily
with
sich leicht anschließen lassen an
interface
with
a digital computer
mit einem Digitalrechner koppeln
interface
with
a digital computer
an einen Digitalrechner anschließen
interface
with
a microprocessor
sich an einen Mikroprozessor anschließen lassen
interfacing
with
flexible cable connector
Zusammenschalten mit Kabelsteckverbinder
interfacing
with
flexible cable connector
Anschluß mit Kabelsteckverbinder
interfacing
with
real-world data for measurement and control
Verbindung mit Daten der Außenwelt für Messen und Steuern
interleave
with
other operations
mit anderen Operationen verzahnen
intersperse
with
einschieben zwischen
intersperse
with
vermischen mit
invert
with
respect to the input
in bezug auf den Eingang invertieren
ion-implanted resistor
with
low 1/f noise
ionenimplantierter Widerstand mit niedrigem 1/f-Rauschen
latch-proof junction isolation
with
buried layer
latch-up-sichere Sperrschichtisolation mit vergrabener Schicht
line
with
sloping profiles
Linie mit schrägen Wänden
line
with
sloping profiles
Steg mit schrägen Wänden
link easily
with
sich leicht anschließen lassen an
load in parallel
with
laden parallel mit
load the slice in the fixture
with
the front surface up
die Scheibe in die Haltevorrichtung mit der vorderen Oberfläche nach oben einsetzen
locate the benchmark
with
sufficient precision
die Lage der Festpunktmarke mit ausreichender Genauigkeit bestimmen
mark defective chips
with
an ink dot
fehlerhafte Chips mit einem Farbpunkt kennzeichnen
mask-to-wafer positioning system
with
six degrees of freedom
Maske-Wafer-Positioniersystem mit sechs Freiheitsgraden
maximize throughput
with
parallel operations
den Durchsatz mit Paralleloperationen maximieren
monolithic circuit
with
upwards of 100 000 transistors
Festkörperschaltkreis mit mehr als 100000 Transistoren
nestplate coated
with
adhesive
Chipträgerplatte mit Klebeschicht
(Innenbonden)
operate at high speed and
with
repeatability in a real plant environment
sehr schnell und reproduzierbar unter echten Produktionsbedingungen arbeiten
operate
with
a fixed clock
mit einem festen Takt arbeiten
operator interaction
with
the machine
Dialogverkehr zwischen Bediener und Maschine
orient the pattern to be written
with
previous ones
die zu schreibende Struktur zu vorausgehenden justieren
90° out of phase
with
one another
um 90° außerphasig zueinander
outline the feature
with
a small spot and fill it with large blocks
die Umrisse des Strukturelements mit kleinem Punktstrahl schreiben und mit großen Blöcken ausfüllen
overlapped
with
the fetching of the first word
überlappt mit dem Abrufen des ersten Wortes
overloaded
with
other software tasks
überlastet mit anderen Softwareaufgaben
overplated
with
gold
mit galvanischer Goldbeschichtung
override the globally defined spacing rules
with
custom rules
sich über die global definierten Abstandsregeln mit kundenspezifischen Regeln hinwegsetzen
package standard for device
with
0.05-in. centres
Gehäusestandard für Bauelemente mit 0,05-Zoll-Anschlußraster
pattern formed
with
rectangles
aus Rechtecken gebildete Struktur
pattern
with
angled figures
Struktur mit schrägen Bildelementen
pattern
with
feature sizes to 0.5 micron
Struktur mit Elementgrößen bis zu 0,5 Mikrometer
pattern
with
submicron geometries
Struktur mit Abmessungen im Submikrometerbereich
p.c. board
with
plated-through holes
Leiterplatte mit durchkontaktierten Montagelöchern
photomask
with
stepped-in alignment targets
Fotoschablone mit einbelichteten Justiermarken
position the X-Y stage
with
an accuracy of 0.01 μm
den Koordinatentisch mit einer Genauigkeit von 0,01 μm positionieren
(einstellen)
positioning of a mask
with
respect to a sample
Positionierung einer Maske in bezug auf eine Probe
power amplifier
with
gain
Leistungsverstärker mit Spannungsverstärkung
primary pattern generation
with
a serial electron beam
Primärstrukturerzeugung mit einem seriellen Elektronenstrahl
print lines
with
minimum dimensions
Linien mit kleinsten Abmessungen kopieren
print wafer levels
with
optical printers
Waferebenen mit optischen Belichtungsgeräten belichten
produce arrays of images by photoreduction
with
a step-and-repeat camera
regelmäßige Bildfelder durch Verkleinerung mit einem Fotorepeater herstellen
produce integrated circuits
with
2 μm design rules
integrierte Schaltkreise mit Strukturbreiten von 2 μm herstellen
program loop
with
no exit
Programmschleife ohne Ausgang
project IC patterns
with
a 5:1 reduction ratio onto a wafer
Schaltkreisstrukturen mit 5facher Verkleinerung auf einen Wafer projizieren
protect the reticles
with
pellicles
die Retikel mit Folien schützen
pull the wafer on to a flat substrate
with
a vacuum den
Wafer durch Vakuum auf eine plane Unterlage ansaugen
pushbutton control panel
with
indicator lights
Bedienungsfeld mit Anzeigelämpchen
pushbutton control panel
with
indicator lights
Bedienfeld mit Anzeigelämpchen
recombine
with
carriers of the opposite type
mit Ladungsträgern des entgegengesetzten Typs rekombinieren
registration
with
the underlying pattern
Überdekkung mit der darunterliegenden Struktur
remain fixed
with
respect to the lens system
in bezug auf das Objektivsystem unverändert bleiben
resistive state
with
a voltage drop
ohmscher Zustand mit Spannungsabfall
retain the accurate chip spacing
with
respect to the sprocket hole
den genauen Chipabstand in bezug auf das Perforationsloch einhalten
run
with
a small voltage
mit kleiner Spannung betrieben werden
scan every element in the pattern
with
a finely focussed spot beam
jedes Strukturelement mit einem feinfokussierten Strahl abrastern
shift linearly
with
implanted dose
sich mit der Implantationsdosis linear verschieben
spun-on
with
arsenic-doped polymer
mit aufgeschleudertem arsendotiertem Polymer beschichtet
square
with
the x-y axes
senkrecht zu den Koordinatenachsen
start the A-D conversion
with
one instruction
die A-D-Umsetzung mit einem Befehl beginnen
steep wall
with
sharp top edge
steile Wand mit scharfer
nicht abgerundeter
Oberkante
step the reticle
with
10x reduction camera
das Retikel mit einer Step-und-Repeat-Kamera 10fach verkleinert abbilden
(zur Herstellung der Originalschablone)
step-and-repeat projection
with
demagnification 10:1
schrittweise Projektionsübertragung mit zehnfacher Bildverkleinerung
store up to ten cassettes
with
substrates
bis zu zehn Kassetten mit Substraten aufnehmen
substrate coated
with
a photoresist
fotoresistbeschichtetes Substrat
symmetrical
with
respect to the optical axis
symmetrisch zur optischen Achse
synchronize the data transfer
with
the operation of the bus
die Datenübertragung mit dem Busbetrieb synchronisieren
synchronize the program execution
with
real time
den Programmablauf mit der Echtzeit synchronisieren
synchronized
with
the flow of pattern data
mit dem Fluß der Strukturdaten synchronisiert
synthesize the layout in accordance
with
the ground rules
das Layout entsprechend den Grundregeln zusammensetzen
table-top computer
with
graphic capability
Tischcomputer mit grafischer Darstellungsmöglichkeit
tape
with
integral circuit
Filmband mit integralem Schaltkreis
terminate
with
a gold conductor
mit einem Goldleiter abschließen
test problem
with
a known solution
Prüfaufgabe mit bekannter Lösung
to be in register
with
each other
sich in Deckung befinden
transfer loss achieved
with
fat zero
Ladungstransportverlust bei Grundladungsbetrieb
transistor
with
common base
Transistor mit gemeinsamer Basis
two-level overlay
with
conspicuous rotation
Überdeckung zweier Ebenen mit beträchtlicher Drehung
two-sided p.c. board
with
plated-through holes
doppelt kaschierte Leiterplatte
Flachbaugruppe
mit durchkontaktierten Löchern
use the exposure process in a step and peat mode
with
individual alignment of each chip area
eine schrittweise Belichtung mit Einzeljustierung jeder Chipfläche durchführen
vary
with
temperature
sich mit der Temperatur ändern
vary
with
temperature
mit der Temperatur schwanken
vee isolation
with
polysilicon backfill
V-Graben-Isolation mit Poly-Si-Auffüllung
vertical sidewall
with
no lateral undercuts
vertikale Seitenwand ohne seitliche Unterätzungen
V-groove isolation
with
polysilicon back fill
VIP-Technik
(Isolationstechnik, die zur lateralen Isolation der Bauelemente einer integrierten Schaltung eine Polysiliziumschicht verwendet)
via wall
with
sufficiently tapered contour
Kontaktöffnungswand mit genügend großer Abschrägung
wafer rotation
with
respect to the mask's axes
Waferdrehung in bezug auf die Maskenachsen
writing
with
an electron beam
Bearbeiten mit Elektronenstrahl
(ES-Lithografie)
writing
with
an electron beam
Schreiben mit Elektronenstrahl
(ES-Lithografie)
Get short URL
