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Terms for subject Microelectronics containing motion | all forms | exact matches only
EnglishGerman
align parallel to the X-axis motion of the stageparallel zur x-Richtung der Tischverschiebung justieren
continuous motion of the X-Y tablekontinuierliche Verschiebung des Koordinatentisches
dislocation motionVersetzungsbewegung
fill in the feature in a raster-like motiondas Strukturelement in rasterartiger Bewegung ausfüllen (auspinseln)
fine motion alignment stageFeinjustiertisch
gross motionGrobbewegung
high-precision X,Y motion systemX-Y-Präzisionsbewegungssystem
mechanical stage motion between each scan field exposureTischverschiebung zwischen jeder Rasterfeldbelichtung
motion capability of the wafer stageBewegungsmöglichkeit des Wafertisches
scan motionRasterbewegung
scan the beam at right angles to the stage motionden Strahl rechtwinklig zur Tischverschiebung auslenken
scanning motion in a single directionAbtastbewegung in einer Richtung
scanning motion in a single directionAbrasterbewegung in einer Richtung
serpentine stage motionmäanderförmige Tischverschiebung
stage motionTischverschiebung
stage motionTischbewegung
stage motion directionTischbewegungsrichtung
step motion directionSchrittbewegungsrichtung
thermal motion of charged particlesWärmebewegung geladener Teilchen
two dimensional scan motionX-Y-Rasterbewegung