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Terms
for subject
Microelectronics
containing
features
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all forms
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exact matches only
English
German
anti-
features
on the same mask
einander gegenüberliegende Strukturelemente auf einer Maske
anti-
features
on the same mask
benachbarte Strukturelemente auf einer Maske
asynchronous communications using the serial input-output
features
of the microprocessor
asynchrone Datenübertragung mit seriell arbeitenden Eingabe-Ausgabe-Systemen des Mikroprozessors
autodecrement
feature
Zusatz für automatische Dekrementierung
average
feature
size
durchschnittliche Elementgröße
average width of the
feature
mittlere Strukturbreite
component
feature
size
Bauelementstrukturgröße
concavity of the etched
feature
konkave Form des geätzten Strukturelements
configure systems with any combination of test
features
Anlagen mit beliebiger Kombination von Kontrollparametern zusammenstellen
contain the complete pattern for all dice at the actual size of the final
features
die vollständige Struktur für alle Chips in natürlicher Größe der endgültigen Strukturelemente enthalten
(1 ×)
data sorting
feature
Datensortiermöglichkeit
define circuit
features
Schaltkreisstrukturen abbilden
delineate 1 μm
features
1-pm-Strukturelemente schreiben
density of device
features
Packungsdichte der Bauelementstrukturen
device
feature
size
Bauelementstrukturgröße
device geometries in the 1 μm
feature
region
Bauelementstrukturen im 1-μm-Bereich
die pattem
feature
dimension
Strukturelementgröße auf einem Chip
diffraction of light at the edges of
features
in the patterns
Beugung des Lichts an den Kanten der Strukturelemente
diffraction ring at
feature
edge
Beugungsring an der Strukturkante
display separates thousands
feature
Triadenmarkierung
distinctive
feature
charakteristisches Merkmal
duplicate
features
smaller than one micron
Strukturelemente unter einem Mikrometer kopieren
edge of
feature
Strukturkante
edge-to-edge separation between
features
Kantenabstand zwischen Strukturelementen
extendability of E-beam technology to smaller
feature
sizes
Erweiterungsfähigkeit der Elektronenstrahltechnik auf kleinere Strukturgrößen
extra
feature
Zusatzeinrichtung
extra
feature
Zusatz
feature
composite
zusammengesetzte Struktur
feature
contral to ± 0.1 μm
Einhaltung der Elementbreite bis auf ± 0,1 μm
feature
dimension in the die pattern
Elementgröße in der Einzelbildstruktur
feature
edge
Strukturkante
feature
greater than 2.5
μm Strukturgröße über 2,5 pm
feature
hole
Fensteröffnung
(eines Zwischenträgers)
feature
placement accuracy
Strukturlagegenauigkeit
feature
size
Linienbreite
feature
size
Elementbreite
feature
size
Strukturgröße
feature
size control
Einhaltung der Strukturbreite
feature
size evolution
Elementgrößenentwicklung
feature
size measurement
Linienbreitemessung
feature
size shrinkage
Verkleinerung der Linienbreite
feature
smaller than 4.0 μm
Strukturbreite unter 4 μm
feature
width
Elementbreite
feature
width
Strukturbreite
features
ranging from as small as 1.5 μm to as large as 3.0
μm Strukturbreiten in einem großen Variationsbereich von 1,5 μm bis 3,0 μm
file scan
feature
Datensucheinrichtung
fill in the
feature
in a raster-like motion
das Strukturelement in rasterartiger Bewegung ausfüllen
(auspinseln)
fill the
feature
with large blocks
das Strukturelement mit großen Belichtungsstempeln ausfüllen
final-image
feature
Strukturelement des endgültigen Schaltkreisbildes
fine-
feature
circuit
Mikroschaltkreis
fineness of
feature
size
Feinheit der Strukturgröße
formation of
features
in the 1 μm range
Bildung von Strukturelementen im 1-pm-Bereich
high-resolution
feature
hochaufgelöstes Strukturelement
incorporate several
features
into the system
mehrere wesentliche Konstruktionsbesonderheiten in der Anlage berücksichtigen
inhibit a hardware
feature
eine Systemeinrichtung sperren
innovative
feature
Neuerung
instruction abort
feature
Befehlsunterbrechungszusatz
jump between pattern
features
Sprung zwischen Strukturelementen
large-area-area
feature
großflächiges Strukturelement
lateral displacement of
features
seitliche Verschiebung der Strukturelemente
limiting
feature
size
kleinste nutzbare Strukturbreite
locate the edges of
features
die Lage der Strukturkanten bestimmen
loosest
features
am wenigsten dicht gepackte Strukturelemente
loss in
feature
size
Verringerung der Strukturbreite
maintain a constant resist
feature
size
eine konstante Linienbreite im Resist einhalten
maintain the correct width of the
feature
die richtige Strukturbreite einhalten
mask
feature
Strukturelement der Maske
mask
feature
placement error
Strukturlagefehler auf der Maske
minimum device
feature
kleinste Bauelementstruktur
minimum
feature
size
minimale Elementbreite
minimum
feature
size
kleinste Strukturbreite
minimum printable
feature
kleinstes belichtbares Strukturelement
minimum resolvable
feature
size
kleinste auflösbare Linienbreite
(Strukturgröße)
minimum usable
feature
size
kleinste nutzbare Elementgröße
(Strukturbreite)
minimum working
feature
kleinste Arbeitsstruktur
minimum-size
feature
kleinstes Strukturelement
move directly to the next
feature
direkt zum nächsten Strukturelement übergehen
operational
feature
besondere Betriebseigenschaft
operational
feature
hervorragendes Funktionsmerkmal
outline the
feature
with a small spot and fill it with large blocks
die Umrisse des Strukturelements mit kleinem Punktstrahl schreiben und mit großen Blöcken ausfüllen
oversizing of the
features
Überdimensionierung der Strukturelemente
pattern
feature
Strukturelement
pattern with
feature
sizes to 0.5 micron
Struktur mit Elementgrößen bis zu 0,5 Mikrometer
periodic
feature
periodisch auftretendes Struktur-Element
permanent
feature
of a device
Dauereinrichtung eines Geräts
placement of
feature
edge
Ort der Strukturkante
placement of
feature
edge
Lage der Strukturkante
power-down
feature
Zusatzmöglichkeit des Betriebs im Bereitschaftszustand
power-off
feature
Abschaltzusatz
print increasingly smaller circuit
features
zunehmend kleinere Schaltkreiselemente belichten
printable
feature
size
belichtbare Elementbreite
raised
feature
erhabenes Strukturelement
(z. B. Mesa)
remove the exposed circuit
features
by the developer
die belichteten Schaltkreisstrukturen durch den Entwickler entfernen
replication of
features
down to the submicron size
Reproduzierung von Strukturelementen bis in den Submikrometerbereich
resolvable
feature
auflösbares Strukturelement
resolvable
feature
size of 1 μm
auflösbare Linienbreite von 1 μm
scale device
features
down to one micrometre and below
Bauelementstrukturen bis auf 1 Mikrometer und darunter verkleinern
self-aligning
feature
Selbstjustageeigenschaft
shrinkage of device
features
Verkleinerung der Bauelementstrukturen
smallest
feature
kleinste Struktur
smallest
feature
kleinste Strukturbreite
smallest
feature
kleinstes Strukturelement
spreading of exposure
features
Verbreiterung der belichteten Strukturelemente
square mask
feature
quadratisches Maskenstrukturelement
submicrometre
feature
Strukturelement unter 1 μm
submicrometre
feature
Submikrometerstruktur
submicron
feature
Submikrometerelement
submicron minimum
feature
size
kleinste Strukturbreite im Submikrometerbereich
tightest
features
am dichtesten gepackte Strukturelemente
undersizing of the
features
Unterdimensionierung der Strukturelemente
usable
feature
size in the 1.0-2.0 micrometre range
nutzbare Elementgröße firn 1- bis 2-μm-Bereich
usable
feature
size in the 1.0-2.0 micrometre range
nutzbare Linienbreite firn 1- bis 2-μm-Bereich
usable
feature
size in the 1.0-2.0 micrometre range
nutzbare Strukturbreite firn 1- bis 2-μm-Bereich
use a beam spot much smaller than the
feature
to be written
eine weitaus kleinere Strahlsonde als das zu schreibende Strukturelement verwenden
vary the spot size and shape as the
feature
requires
Durchmesser und Form des Strahlquerschnitts entsprechend dem Strukturelement verändern
washout of surface
features
Verwaschung der Oberflächenstrukturelemente
width of the
feature
Strukturbreite
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