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extreme-ultra-violet lithographyEUV-Lithographie
ultra-high vacuum transfer between modulesÜbergabe von einem Modul zum anderen im Höchstvakuum
ultra-high-level languageSprache besonders hoher Ebene
ultra large-scale integrationultrahohe Integration von Schaltkreisen
ultra-thin film epitaxial growth systemepitaktisches Aufwachssystem von Feinstschichten

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