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Terms
for subject
Microelectronics
containing
TARGET
|
all forms
|
exact matches only
English
German
acquire
targets
rapidly
Justiermarken schnell erfassen
adjust automatically X, Y, and Ф to
targets
on the wafer for each field
X, Y und Ф in bezug auf Wafermarken für jedes Einzelfeld automatisch einstellen
alignment
target
Justiermarke
(auf dem Wafer)
alignment
target
pattern
Justiermarkenstruktur
array of alignment
targets
on a wafer
Justiermarkenanordnung auf einem Wafer
auto align wafer
target
Wafermarke für automatische Justierung
bring alignment
targets
into coincidence with targets on the wafer
Justiermarken mit den Marken auf dem Wafer zur Deckung bringen
calibration
target
Eichmarke
electron scattering within the film-substrate
target
Elektronenstreuung im Schichtsubstrattarget
fixed
target
feste Marke
focus the square shape of the aperture on the
target
die quadratische Blende auf das Objekt scharf abbilden
form an image of the crossover on the
target
ein Bild des Crossover auf dem Objekt erzeugen
high-speed rotating
target
mit hoher Geschwindigkeit rotierendes Target
image only a subrectangle on the
target
nur ein Rechteck auf das Objekt abbilden
impinge on the wafer
target
at normal incidence
auf die Wafermarke senkrecht einfallen
incorporate alignment
targets
in each mask or reticle
Justiermarken in jeder Maske oder Belichtungsschablone einfügen
locate the
target
die Marke auffinden
manual-align wafer
target
Wafermarke für manuelle Justierung
photomask with stepped-in alignment
targets
Fotoschablone mit einbelichteten Justiermarken
raised mesa
target
Erhebungsmarke
reference
target
on reticle
Bezugsmarke auf dem Retikel
resolution
target
Auflösungstest
resolution
target
Testobjekt
reticle alignment
target
Retikeljustiermarke
reticle reference
target
Retikelbezugsmarke
rotary
target
Drehtarget
scan the beam over the
target
die Marke mit dem Strahl abtasten
sputtering
target
Zerstäubungskatode
stepped- in alignment
target
einbelichtete Justiermarke
strike a
target
auf eine Zielelektrode treffen
target
acquisition capability of the wafer-to-reticle alignment system
Markenerfassungsmöglichkeit des Wafer-Retikel-Justiersystems
target
area
Auftrefffläche
target
area
Targetfläche
target
atom
Quellenatom
target
computer
Zielcomputer
target
pattern
Justiermarkenstruktur
target
phase
Zielphase
target
plane
Targetebene
target
source
Quelle
(Röntgenlithografie)
target
value
zu erreichender Wert
test
target
Testobjekt
(s.a. test reticle)
trench
target
Vertiefungsmarke
wafer alignment
target
Waferjustiermarke
wafer reference
target
Waferbezugsmarke
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