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Terms
for subject
Microelectronics
containing
System
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exact matches only
English
German
accept wafers from the transport
system
Wafer vom Transportsystem übernehmen
acquisition range of the fine-alignment
system
Erfassungsbereich des Feinjustiersystems
adaptive control
system
anpassungsfähiges Steuersystem
advanced wafer stepping
system
hochentwickelte Wafer-Stepper-Anlage
air gauging
system
pneumatisches Meßsystem
airborne measurement
system
Bordmeßsystem
aligner
system
Justiersystem
alignment and exposure
system
Justier- und Belichtungsanlage
alignment detection
system
Detektorsystem für Justierung
alignment
system
of a wafer stepper
Justiersystem eines Überdeckungsrepeaters
all-reflecting folded projection
system
spiegeloptisches Projektionssystem mit geknickten Strahlengängen
analogue signal-processing
system
Analogsignalverarbeitungssystem
area measuring
system
Flächenmeßsystem
assembly
system
for integrated circuits
Montagesystem für integrierte Schaltungen
auto-align
system
automatisches Justiersystem
automated design
system
automatisches Entwurfssystem
automated design
system
Entwurfsautomatisierungssystem
automated large-scale artwork
system
automatische Anlage zur Herstellung großer Vorlagen
automated loading
system
automatisches Ladesystem
automated tape carrier bonding
system
automatische Folienbondanlage
automated test and analysis
system
automatisiertes Test- und Analysesystem
automatic alignment
system
automatisches Justiersystem
automatic focussing
system
automatisches Fokussiersystem
automatic test
system
Prüfautomatik
automatic test
system
automatische Prüfanlage
back-up
system
Aushilfssystem
basic control
system
einfaches Steuersystem
basic input-output
system
Grundeingabe-Ausgabe-System
basic part of a computer
system
Grundeinheit einer Rechenanlage
batch processing
system
Stapelverarbeitungsanlage
battery back-up
system
Batteriereservesystem
bi-level resist
system
Zweischichtresistsystem
binary notation
system
Binärsystem
blanker
system
Austastsystem
blanking
system
Austastsystem
bonding
system
Bondanlage
built-in diagnostic
system
eingebautes Diagnosesystem
bulk wafer exposure
system
Mehrwaferbelichtungsanlage
bump fabrication
system
Bondhügelherstellungsanlage
busing
system
Busleitungssystem
cache-based
system
System auf Cache-Speicher-Basis
cassette automatic handling
system
automatisches Kassettenhandhabungssystem
cassette-loading
system
Kassettenladesystem
cassette-to-cassette in-line wafer processing
system
durchgehendes Waferbearbeitungssystem mit Kassettenbetrieb
cassette-to-cassette transport
system
Transportsystem mit Kassettenbetrieb
circular beam
system
Punktstrahlsystem
closed-loop
system
geschlossenes Regelungssystem
closed-loop
system
geschlossenes Regelsystem
closed-loop
system
Steuersystem mit Rückkopplung
compensating capability of the
system
Kompensationsmöglichkeit der Anlage
complicated production
system
komplizierte Produktionsanlage
computer communications
system
Computerkommunikationssystem
computer development
system
Entwicklungssystem
(Rechnersystem zur Erstellung und Testung von Mikrorechnerprogrammen)
computer
system
Rechenanlage
computer-based in-circuit test
system
maschinenunterstützte systemeigene Testanlage
computer-driven deflection
system
computergesteuertes Ablenksystem
configure a custom
system
eine kundenspezifische Anlage zusammenstellen
configure
systems
with any combination of test features
Anlagen mit beliebiger Kombination von Kontrollparametern zusammenstellen
connect to a common
system
bus
an einen gemeinsamen Systembus anschließen
connection of appropriate channels of two computer
systems
Verbindung entsprechender Kanäle von zwei Rechenanlagen
construct a computer
system
in-house
ein eige nes Rechnersystem aufbauen
contact mask alignment
system
Kontaktjustier- und Belichtungsanlage
contact printing
system
Kontaktbelichtungsanlage
control exposure by a light integration
system
die Belichtung durch ein Lichtintegrationssystem steuern
cross-field switching
system
Querfeldschaltsystem
custom-built
system
Kundenwunschsystem
data acquisition and processing
system
Datenerfassungs- und -verarbeitungsanlage
data communications
system
Datenübermittlungssystem
data communications
system
Datenübertragungssystem
data logging and processing
system
Datenerfassungs- und -Verarbeitungssystem
data logging software
system
Datenerfassungssoftwaresystem
d.c. sputtering
system
Gleichstromzerstäubungsanlage
deflection control
system
Ablenksteuersystem
de-reel
system
Abwickelsystem
design automation
system
Entwurfsautomatisierungssystem
development
system
Entwicklungssystem
(für Mikroprozessoren)
development
system
Entwicklungs-System
development
system
console
Steuerpult für ein Entwicklungssystem
device developmental lab-oriented
system
Laboranlage für Bauelemententwicklungen
diagnostic utility
system
diagnostisches Dienstprogrammsystem
digitizing
system
Digitalisierungssystem
direct exposure of wafers by the electronbeam
system
Direktbelichtung von Wafern durch die Elektronenstrahlanlage
direct reticle generation
system
Anlage für direkte Retikelherstellung
direct step-and-repeat
system
Fotorepeater für direkte Waferbelichtung
direct step-and-repeat
system
Scheibenrepeater
direct-step-on-the-wafer
production
system
Scheibenrepeater
(Wafer-Stepper)
direct-step-on-wafer
system
using 10:1 optical projection
Scheibenrepeater mit 10:1-Projektion
direct-step-on-wafer
system
using 10:1 optical projection
Wafer-Stepper mit zehnfacher optischer Verkleinerung
direct-write production
system
direktschreibende Produktionsanlage
direct-writing electron-beam
system
Elektronenstrahldirektschreiber
disk drive
system
Plattenspeicheranlage
disk
oriented
operating
system
plattenorientiertes Betriebssystem
disk operating
system
Diskettenbetriebssystem
disk operating
system
Plattenspeicherbetriebssystem
disk operating
system
Platten-Betriebssystem
disk oriented operating
system
Plattenbetriebssystem
diskette operating
system
Diskettenbetriebssystem
distributed computer
system
aufgeteiltes Computersystem
distributed data base
system
verteiltes Datenbanksystem
distributed intelligence microprocessor
system
Mikrorechnersystem mit verteilter Intelligenz
distributed intelligence
system
System mit verteilter Intelligenz
(mit mehrfachen Mikroprozessoren, von denen jeder eine feste Funktion ausführt)
distributed intelligence
system
nichtzentrales Verarbeitungssystem
distributed processing
system
verteiltes Verarbeitungssystem
distributed-computing
systems
Systeme für verteilte
dezentrale
Datenverarbeitung
document retrieval
system
Dokumentenretrievalsystem
double-deflection
system
Doppelablenksystem
drive the microcomputer interrupt
system
das Mikrocomputerunterbrechungssystem steuern
DSW
system
Repeateranlage für Direktbelichtung auf Wafer
dual condenser
system
Doppelkondensorsystem
dual exposure
system
Doppelbelichtungssystem
dual processor
system
Zweiprozessorsystem
dual processor
system
Doppelprozessorsystem
dual
system
Doppelanlage
(s.a. dual processor system)
dual-redundant
system
System mit zweifacher Redundanz
dumping of the data from block buffers to the shifter
system
Umspeicherung der Daten von Blockpuffern zum Schiebesystem
duodecimal number
system
Duodezimalsystem
duplexed
system
Duplexsystem
early-warning type of
system
Frühwarnanlage
E-beam
system
Elektronenstrahlanlage
E-beam wafer-exposure
system
Elektronenstrahldirektschreiber
editing
system
Ausgabeaufbereitungssystem
electron beam direct-writing lithographic
system
lithografische Elektronenstrahlanlage für direkte Scheibenbelichtung
electron beam exposure
system
Elektronenstrahlbelichtungsanlage
electron beam mask writing
system
Elektronenstrahlmaskenschreiber
electron beam
system
for mask making
Elektronenstrahlmaskenschreiber
electron beam
system
for mask making
Elektronenstrahlanlage für Maskenschreiben
electron exposure
system
Elektronenbelichtungsanlage
electron lithography
system
elektronenlithografische Anlage
electron projection
system
Elektronenprojektionsanlage
electron-beam delineation
system
Elektronenstrahlschreiber
electron-beam lithography
system
Elektronenstrahlschreiber
electron-beam lithography
system
lithografische Elektronenstrahlanlage
electron-beam mask making
system
Elektronenstrahlmaskenschreiber
electronic countermeasure
system
elektronisches Abwehrsystem
end point detection
system
Endpunkterkennungssystem
engineering design
system
technisches Entwurfssystem
executive control
system
Ausführungssteuersystem
expand
system
hardware
die Anlage erweitern
expand the
system
's testing capability
die Testmöglichkeit der Anlage erweitern
experimental
system
Versuchsanlage
exposed rectangle of round beam
system
belichtetes Rechteck einer Punktstrahlanlage
exposure
system
Belichtungsanlage
exposure-alignment
system
Justier- und Belichtungsanlage
fabrication error in the optical
system
Fertigungsfehler im optischen System
fallback
system
Reservesystem
feedback control
system
Regelungssystem mit Rückführung
file-control
system
Eingabe-Ausgabe-System
fine alignment
system
for consistently accurate alignment
Feinjustiersystem für gleichbleibend genaue Justierung
first generation step-and-repeat exposure
system
Fotorepeateranlage der ersten Generation
(für Maskenherstellung)
fixed-length record
system
System mit fester Satzlänge
fixed-shape spot manufacturing
system
Fertigungsanlage mit nichtvariablem quadratischem Strahlquerschnitt
fixed-size spot
system
Strahlanlage mit nichtvariabler Sondengröße
flash-on-the-fly
system
Anlage mit laufender Belichtung
floppy-disk
system
Diskettensystem
floppy-drive
system
Diskettenlaufwerk
fly-by-wire
system
drahtgebundenes Fernsteuersystem
fly's-eye
system
Anlage mit einer Mehrfachelektronenstrahlanordnung
focus track
system
Fokusnachführsystem
full-wafer exposure
system
Ganzscheibenbelichtungsanlage
full-wafer X-ray
system
Ganzscheibenröntgenanlage
gang-bonded bonding
system
Gruppenbondanlage
gang-bonded bonding
system
Simultanbondanlage
Gaussian beam raster scan
system
nach dem Rasterscan-Verfahren arbeitende Punktstrahlbelichtungsanlage
Gaussian beam raster scan
system
Punktstrahlrasterscan-Anlage
Gaussian beam
system
Punktstrahlanlage
Gaussian beam vector scan
system
nach dem Vektorscan-Verfahren arbeitende Punktstrahlbelichtungsanlage
Gaussian beam vector scan
system
Punktstrahlvektorscan-Anlage
graphic data
system
grafisches Datensystem
guide of the bonding
system
Führung der Bondanlage
hands-off wafer transfer
system
automatisches Wafertransportsystem
heavily loaded bus
system
stark belastetes Bussystem
height sensor
system
Höhenmeßsystem
high-end development
system
Anlage im oberen Kostenbereich
high-end development
system
System im oberen Kostenbereich
high-performance
system
Hochleistungsanlage
high-precision X,Y motion
system
X-Y-Präzisionsbewegungssystem
high-throughput electron projection
system
Elektronenprojektionsanlage mit hohem Durchsatz
high-throughput
system
hochproduktive Anlage
high-vacuum coating
system
Hochvakuumbedampfungsanlage
high-vacuum exposure
system
Hochvakuumbelichtungsanlage
illumination
system
Beleuchtungssystem
illumination
system
performance
Leistung des Beleuchtungssystems
imaging
system
bilderzeugendes System
implementation of an automatic alignment
system
Realisierung eines automatischen Justiersystems
in line type transfer
system
fließbandartiges Transportsystem
(für automatischen Wafertransport)
in-circuit test
system
systemintegrierte Testanlage
incorporate several features into the
system
mehrere wesentliche Konstruktionsbesonderheiten in der Anlage berücksichtigen
information retrieval
system
Datensuchsystem
inlet
system
Eintrittssystem
in-line
system
in sich geschlossene automatisierte Anlage
in-plant
system
betriebsinterne Anlage
in-plant
system
betriebseigene Anlage
insert into the
system
in die Anlage einsetzen
interactive graphics
system
interaktives Grafiksystem
interface two lithographic
systems
zwei lithografische Anlagen einander angleichen
(anpassen)
interfacing capability between the PCB and the test
system
Kopplungsmöglichkeit zwischen Leiterplatte und Testsystem
interlock
system
Blockiersystem
intermediate alignment
system
Zwischenjustiersystem
interruption of processing by a
system
failure
Unterbrechung der Verarbeitung durch Anlagenausfall
ion implantation
system
Ionenimplantationsanlage
ion milling
system
Ionenstrahlätzanlage
ion milling
system
Ionenätzanlage
ion projection
system
for production of ICs
Ionenprojektionsanlage zur Herstellung von integrierten Schaltkreisen
ion-beam milling
system
Ionenstrahlätzanlage
ion-optical step-and-repeat
system
ionenoptische Step-und-Repeat-Anlage
isolate the
system
from vibrations
die Anlage gegen Erschütterungen isolieren
issue an interrupt to the
system
das System unterbrechen
jeopardize
system
reliability
die Zuverlässigkeit der Anlage gefährden
(aufs Spiel setzen)
job processing monitor
system
Ablaufüberwachungssystem
laser-annealed metering
system
Laserwegmeßsystem
line width measuring
system
Strukturbreitenmeßgerät
line width measuring
system
Linienbreitemeßgerät
link the customer to the
system
via a telephone line
den Kunden über eine Telefonleitung mit der Anlage verbinden
lithography
system
lithografische Anlage
load a new mask into the
system
eine neue Maske in das System einschleusen
load the wafers into the
system
die Wafer der Anlage zuführen
loading
system
for wafers
Ladesystem für Wafer
localize
system
malfunctions
Anlagenstörungen feststellen
(lokalisieren, einkreisen)
low-end development
system
Anlage im unteren Kostenbereich
low-end development
system
System im unteren Kostenbereich
manual loading
system
manuelles Ladesystem
(Bestückungssystem)
manufacturing electron-beam exposure
system
Elektronenstrahlbelichtungsanlage für Produktionszwecke
mask alignment and exposure
system
Justier- und Belichtungsanlage
mask alignment and exposure
system
Maskenjustier- und Belichtungsanlage
mask inspection
system
Defektkontrollgerät
mask inspection
system
Maskenprüfgerät
mask making
system
Maskenschreiberanlage
mask making
system
Maskenfertigungsanlage
mask making
system
Maskenherstellungsanlage
mask-to-wafer positioning
system
with six degrees of freedom
Maske-Wafer-Positioniersystem mit sechs Freiheitsgraden
mask-writing
exposure
system
Maskenschreiber
mass-bond
system
Simultanbondanlage
mass-memory
system
Großspeicheranlage
mass-storage
system
Großspeicheranlage
master-slave
system
Master-Slave-Anlage
(in der ein Zentralrechner mit einem Vorrechner gekoppelt ist)
memory test
system
Speichertestsystem
message switching
system
Nachrichtenvermittlungssystem
metrological
system
meßtechnisches System
metrological
system
Meßsystem
microcomputer development
system
Mikrocomputerentwicklungssystem
microetch
system
Mikroätzanlage
microfabrication
system
Mikrostrukturherstellungsanlage
microlithographic imaging
system
mikrolithografische Abbildungsanlage
micromeasurement
system
for submicron geometries
Mikromeßsystem für Strukturen im Submikrometerbereich
microprocessor control
system
Mikroprozessorsteueranlage
microprocessor
system
timing
zeitliche Steuerung eines Mikroprozessorsystems
microprojection
system
Mikroprojektionsanlage
mid-range development
system
Anlage im mittleren Kostenbereich
mid-range development
system
System im mittleren Kostenbereich
mirror projection alignment
system
Projektionsjustier- und Belichtungsanlage mit Spiegeloptik
monitor the performance of the
system
die Leistung der Anlage überwachen
monolithic
systems
technology
Halbleitertechnik
multiaccess
system
System mit Vielfachzugriff
multi-access-microprocessor
system
Multimikroprozessorsystem
multibarrel step-and-repeat
system
Mehrfachrepeater
multichip memory
system
Mehrchipspeichersystem
multilayer resist
system
Mehrschichtresistsystem
multilevel resist
system
Mehrebenenresistsystem
multilevel resist
system
Mehrschichtresistsystem
multiple bus
system
Mehrfachbussystem
multiple computer
system
Vielfachcomputersystem
multiple MPU
system
Mehrprozessorsystem
multiple-array photorepeater
system
Mehrfachfotorepeater
multipoint network control
system
Steuersystem für Mehrpunktverbindung
multiprocessing
system
Mehrrechnersystem
multipurpose capability of a
system
Möglichkeit mehrerer Funktionen einer Anlage
multisequential
system
Multitolgenverarbeitungssystem
multiwafer exposure
system
Mehrwaferbelichtungsanlage
non-contact gauging
system
berührungsloses Meßsystem
notational
system
Stellenwertsystem
number representation
system
Zahlendarstellungssystem
off-line
system
nicht direkt an die Zentraleinheit angeschlossene Anlage
one-amplifier
system
Einverstärkersystem
one-of-a-kind microprocessor-based
system
Einzelanlage auf Mikroprozessorbasis
one-to-one imaging
system
1:1 Abbildungssystem
one-to-one projection
system
1:1-Projektionsanlage
one-to-one step and repeat
system
Step-und-Repeat-Anlage mit 1:1-Abbildung
on-line
system
direkt mit der Zentraleinheit gekoppelte Anlage
on-line tape library
system
On-line-Band-System
on-line tape library
system
Magnetbandbibliotheksystem
open-loop control
system
Steuersystem ohne Rückkopplung
operating
system
Betriebssystem
(Programmpaket für die Rechnerbearbeitung von Programmen)
operating-
system
kernel
Kern des Betriebssystems
operating-
system
software
Betriebssoftware
operator-
system
interaction
Dialogverkehr zwischen Bediener und Maschine
operator-
system
interaction
Bediener-Maschine-Dialog
optical encoder
system
optisches Kodiersystem
optical exposure
system
optisches Belichtungssystem
optical exposure
system
optische Belichtungsanlage
optical portion of the
system
Optikteil der Anlage
optical 1:1 projection lithography
system
fotolithografische 1:1-Projektionsanlage
optical step-and-repeat imaging
system
Fotorepeateranlage
out-of-contact mask alignment
system
Abstandsjustier- und Belichtungsgerät
outperform the 10 MHz vect'or scan
system
die Leistung der 10-MHz-Vektorscan-Anlage übertreffen
output magazine handling
system
Ausgabemagazinierungssystem
overall
system
diagram
Diagramm des Gesamtsystems
packet
system
Datenpaketsystem
packet-switching
system
Paketvermittlungssystem
parallel processing
system
Parallelverarbeitungssystem
parametric test
system
Parametertestsystem
partial coherence factor of the lens
system
Teilkohärenzfaktor des Objektivsystems
partial
system
simulator
Teilsystemsimulator
partition the
system
into modules
das System in Untergruppen unterteilen
partitionieren
(Schaltungsentwurf)
pattern-recognition
system
Strukturerkennungssystem
phase locked-loop varactor tuning
system
Varaktorabstimmsystem mit phasensynchronisierter Regelschleife
photoaligner
system
lichtoptisches Justiersystem
photocathode projection
system
Fotokatodenprojektionsanlage
photo-direct wafer stepping projection
system
Projektionsbelichtungsanlage mit Repeateinrichtung für direkte Strukturübertragung auf Wafer
photo-direct wafer stepping projection
system
Projektionsüberdeckungsrepeater für direkte Waferbelichtung
photomask inspection
system
Defektkontrollgerät
photomask production
system
Fotoschablonenfertigungsanlage
plague a
system
ein System stören
plasma sputtering
system
Plasmasputterätzanlage
point source lithography
system
lithografische Anlage mit punktförmiger Strahlungsquelle
position measuring
system
Wegmeßsystem
position sensing and control
system
Wegmeß- und -Steuersystem
position sequentially each chip area under the electron-optical
system
sequentiell jede Chipfläche unter dem elektronenoptischen System positionieren
power-up of
system
Einschalten des Systems
printing
system
Belichtungsanlage
probe-forming electron optical
system
elektronenoptische Anlage zur Sondenerzeugung
process control
system
Prozeßregelsystem
production-oriented
system
Anlage für Produktionszwecke
program generation
system
Programmerzeugungssystem
project alignment
system
Projektionsjustier- und Belichtungsanlage
project mirror
system
between mask and wafer
Projektionsspiegelsystem zwischen Maske und Wafer
project optics
system
Projektionsoptiksystem
project printing
system
Projektionsbelichtungsanlage
project
system
for microcircuits
Projektionsanlage für Mikroschaltungen
project type
system
Projektionssystem
proving mask alignment
system
Abstandsjustier- und Belichtungsanlage
proving
system
Abstandsjustier- und Belichtungsanlage
put worst-case physical stresses on the
system
die Anlage extremen Belastungen unterwerfen
R & D-size
systems
Anlagen von Forschungs- und Entwicklungslabors
radio-frequency sputtering
system
Hochfrequenzzerstäubungsanlage
radix point in the decimal notation
system
Stellenwertpunkt im dezimalen Zahlendarstellungssystem
radix point in the decimal notation
system
Radixpunkt im dezimalen Zahlendarstellungssystem
raster deflection
system
Rasterablenksystem
raster
system
throughput
Produktivität der Rasterscan-Anlage
raster-scanning
system
Rasterscan-Anlage
rating
system
Bezugswertsystem
reactive ion milling
system
Anlage für reaktives Ionenätzen
ready faster memories for microcomputer
system
designs
schnellere Speicher für Mikrorechneranlagen bereitstellen
reducing image projection
system
Projektionssystem mit Bildverkleinerung
reduction projection
system
bildverkleinernde Projektionsanlage
reduction step-repeat
system
Step-und-Repeat-Anlage mit verkleinerter schrittweiser Projektionsübertragung
reflecting optical
system
spiegeloptisches System
(des Wafer-Scanners)
reflective projection printing optical
system
Projektionsjustier- und Belichtungsanlage mit Spiegeloptik
(z. B. Wafer-Scanner)
reflective projection
system
Spiegelprojektionssystem
refractive optical
system
optisches Linsensystem
release data files for use in another
system
Dateien zur Verwendung in einem anderen System freigeben
remain fixed with respect to the lens
system
in bezug auf das Objektivsystem unverändert bleiben
remove the magazine from the substrate handling
system
das Magazin aus dem Substrathandhabungssystem herausnehmen
repeated and rapid turning on and off of the
system
schnelles wiederholtes Einund Ausschalten der Anlage
research-oriented
system
Anlage für Forschungszwecke
resistive heating
system
Widerstandsheizanlage
(eines Epitaxiereaktors)
reticle positioning
system
Retikelpositioniersystem
retrofit to
systems
already in the field
nachträglich in schon vorhandene Anlagen einbauen
retrofittable to
systems
in the field
in schon existierenden Anlagen nachrüstbar
ring field projection
system
Ringfeldprojektionssystem
satellite data base
system
Satellitendatenbanksystem
scan drive
system
Abtastantriebssystem
scan-and-compare
system
Abtast- und Vergleichssystem
scanning electron-beam exposure
system
Rasterelektronenstrahlbelichtungsanlage
scanning electron-beam
system
Rasterelektronenstrahlanlage
scanning
system
Scanninganlage
scanning
system
Suchsystem
schematic of alignment
system
Schemadarstellung des Justiersystems
self-diagnostic
system
under microprocessor control
mikroprozessorgesteuertes eigendiagnostisches System
self-scanned
system
selbstabtastendes System
semiconductor memory
system
Halbleiterspeicheranlage
semiconductor-based computing
system
Rechenanlage auf Halbleiterbasis
sensing
system
Abtastsystem
serial memory
system
refresh
Auffrischen eines seriellen Speichersystems
servo control
system
Folgesteuerungssystem
servo control
system
Servosystem
shadow mask of an ion implantation
system
Schattenmaske einer Ionenimplantationsanlage
shaped-beam
system
Formstrahlsystem
shaped-probe
system
Formstrahlsystem
share access to common
system
resources
gleichzeitigen Zugang zu gemeinsamen Betriebsmitteln haben
signal the control
system
dem Steuersystem signalisieren
single-beam
system
Punktstrahlsystem
single-capability
system
Anlage für eine Funktion
single-ended
system
System mit Eintaktbetrieb
single-wafer etch
system
Einzelwaferätzanlage
slit exposure
system
Spaltbelichtungssystem
slug probe
type
system
Sondensystem
software operating
system
Softwarebetriebssystem
sophisticated electronic control
system
fortgeschrittenes elektronisches Steuersystem
spreading resistance test
system
Bahnwiderstandstestanlage
sputtering
system
Sputterätzanlage
stage control
system
Tischsteuersystem
stage positioning
system
Tischpositioniersystem
start up of the
system
Einschalten der Anlage
step and-repeat reduction projection
system
Großfeldstepper
step and-repeat reduction projection
system
Scheibenrepeater
step and-repeat reduction projection
system
Projektions- und
Überdekkungsrepeater
(für direkte Waferbelichtung)
step and-repeat reduction projection
system
Wafer-Stepper
step-and-align optical wafer exposure
system
Uberdekkungsrepeater
step-and-align optical wafer exposure
system
Scheibenrepeater
step-and-repeat exposure
system
Belichtungsanlage mit Step-und-Repeat-Einrichtung
step-and-repeat exposure
system
Fotorepeateranlage
step-and-repeat 10:1 microreduction camera
system
10:1-Fotorepeater
step-and-repeat optical lithography
system
fotolithografische Repeateranlage
step-and-repeat optical lithography
system
lithografische Fotorepeateranlage
step-and-repeat projection lithography
system
lithografische Projektionsanlage mit Step-und-Repeat-Einrichtung
10:1 step-and-repeat
system
Projektionsrepeater mit zehnfacher Verkleinerung
step-and-repeat
system
Fotorepeatanlage
step-and-repeat wafer imaging
system
Projektions- und
Überdekkungsrepeater
(für direkte Waferbelichtung)
step-and-repeat wafer imaging
system
Großfeldstepper
step-and-repeat wafer imaging
system
Scheibenrepeater
step-and-repeat wafer imaging
system
Wafer-Stepper
10:1 stepper
system
Scheibenrepeater mit zehnfacher Projektionsverkleinerung
stepper
system
Wafer-Stepper
stepper
system
Scheibenrepeatanlage
stepping
system
Schrittpositioniersystem
stigmating
system
Stigmatorsystem
stream dispense
system
Strahlverteilungssystem
substrate handling
system
Substrathandhabungssystem
supervisor operating
system
Uberwachungsbetriebssystem
system
architecture
Systemaufbau
system
chart
Ablaufdiagramm
system
design
Systementwicklung
system
failure
Ausfall einer Anlage
system
failure
Betriebsstörung
system
hardware
Anlagetechnik
system
influx optics
Eintrittsoptik der Anlage
system
resources
Betriebsmittel
system
start-up
Inbetriebnahme der Anlage
system
state sequence
Systemzustandssequenz
system
timing
Systemtakt
system
timing
zeitliche Steuerung des Systems
system
up-time
verfügbare Betriebszeit eines Systems
systems
definition
Systembeschreibung
systems
flowchart
Ablaufdiagramm
take information into the
system
via an input port
Daten über einen Eingangskanal in die Anlage eingeben
take information into the
system
via an input port
Informationen über einen Eingangskanal in die Anlage eingeben
tape cartridge
system
Bandkassettensystem
tape library
system
On-line-Band-System
tape library
system
Magnetbandbibliothekssystem
tape operating
system
Bandbetriebssystem
target acquisition capability of the wafer-to-reticle alignment
system
Markenerfassungsmöglichkeit des Wafer-Retikel-Justiersystems
test equipment
system
Testanlage
test equipment
system
Prüfanlage
thermode of the bonding
system
Bondwerkzeug der Bondanlage
three-channel
system
Dreikanalanlage
time advantage of the EB
system
Zeitvorteil der Elektronenstrahlanlage
time sharing
system
Teilnehmersystem
time-sharing operating
system
Betriebssystem mit Zeitteilung
time-sharing operating
system
Zeitschachtelungsbetriebssystem
time-sharing
system
Teilnehmerrechensystem
time-sharing
system
Zeitscheibenbetriebssystem
time-sharing
system
Teilnehmersystem
(mit gleichzeitiger Rechnerbenutzung)
total
system
integration
Ganzsystemintegration
total-field exposure
system
Anlage für Belichtung des gesamten Feldes
transmission
system
Gebersystem
tri-layer resist
system
Dreischichtresistsystem
tri-metal
system
Dreimetallsystem
triple-diffused-layer resist
system
Dreifachschichtresistsystem
trouble-shoot the
system
Fehlersuche in der Anlage durchführen
trouble-shoot the
system
die Anlage auf Fehler absuchen
troubleshooting
system
Fehlersuchsystem
turnkey computer-aided design
system
gebrauchsfertiges automatisiertes Entwurfssystem
two-circuit
system
Zweikreissystem
two-phase clocking
system
Zweiphasentaktsystem
ultramicrostructure fabrication
system
Ultramikrostrukturfertigungsanlage
ultrasonic transducer gauging
system
Ultraschallwandlermeßsystem
ultraviolet projection
system
UV-Projektionsanlage
unload the wafers from the
system
die Wafer der Anlage entnehmen
update the
system
data
die Systemdaten korrigieren
(auf den neuesten Stand bringen)
user control of
system
operation
Kontrolle des Anlagenbetriebs durch den Benutzer
user control of
system
operation
Steuerung des Anlagenbetriebs durch den Benutzer
vacuum deposition
system
Vakuumbedampfungsanlage
value added in
system
capability
Gebrauchswertsteigerung
variable magnification
system
variables Vergrößerungssystem
variable shaped beam
system
Flächenstrahlanlage
vector scan
system
Vektorscan-Anlage
vector scanning deflection
system
Vektorscan-Ablenksystem
vectored interrupt
system
vektorgesteuertes Unterbrechungssystem
vestigial sideband data transmission
system
Restseitenband-Datenübertragungssystem
vidicon-based alignment
system
Justiersystem auf Vidikonbasis
virtual-memory microprocessor
system
Mikroprozessorsystem mit virtueller Speichertechnik
voice answer back
system
Sprachantwortsystem
wafer imaging
system
Waferstrukturierungsanlage
wafer inspection and classification
system
Waferdefektkontroll- und -klassifizierungsanlage
wafer measurement
system
Wafermeßsystem
wafer patterning
system
Waferstrukturierungsanlage
wafer step-and-repeat exposure
system
Projektions- und
Überdeckungsrepeateranlage für Waferbelichtung
wafer transfer
system
Wafertransportsystem
wafer-mask alignment
system
Wafer-Masken-Justieranlage
wafer-to-reticle alignment
system
Wafer-Retikel-Justiersystem
whole-slice projection
system
System für Bildprojektion auf die gesamte Scheibe
whole-wafer exposure
system
Anlage für globale Waferbelichtung
work chamber of an ion milling
system
Kammer einer Ionenätzanlage
work chamber of an ion milling
system
Ionenätzkammer
X-ray exposure
system
Röntgenbelichtungsanlage
X-ray lithography exposure machine
system
röntgenlithografische Belichtungsanlage
X-ray lithography
system
röntgenlithografische Anlage
X-Y-θ positioning servo
system
Positionierungsservosystem für X, Y und φ
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