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Terms
for subject
Microelectronics
containing
Light
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all forms
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exact matches only
English
German
actual
light
profile
tatsächliches Beleuchtungsprofil
approach the resolution limits of
light
optics
die Auflösungsgrenzen der Lichtoptik annähernd erreichen
broad-band
light
source
Breitbandlichtquelle
control exposure by a
light
integration system
die Belichtung durch ein Lichtintegrationssystem steuern
convert the weak
light
into electrical signals
das schwache Licht in elektrische Signale umwandeln
diffraction of
light
at the edges of features in the patterns
Beugung des Lichts an den Kanten der Strukturelemente
erase by exposure to shortwave ultraviolet
light
durch kurzwelliges UV-Licht löschen
exposure
light
source
Lichtquelle für die Belichtung
extend to a distance less than a wavelength of
light
away from the mask
sich auf weniger als eine Lichtwellenlänge von der Maske erstrecken
fibre-optic
light
pipe
faseroptisches Lichtleitkabel
flashed-xenon
light
source
Xenonblitzlichtquelle
imaging
light
Abbildungslicht
incident
light
amplitude
Amplitude des einfallenden Lichtes
indicator
light
Anzeigelämpchen
light
-beam deflector
Lichtstrahlablenker
light
-beam probe
Lichtstrahlsonde
light
coupling effect
Lichtkopplungseffekt
light
development
schwache Entwicklung
light
-exposed border between the chips be-
lichtete Randzone zwischen den Chips
light
-exposed border between the chips be-
lichtete Grenzzone zwischen den Chips
light
field chrome mask
Hellfeldchromschablone
light
flux value
Lichtstromwert
light
gun
Lichtgriffel
light
gun
Lichtstift
light
intensity distribution
Lichtintensitätsverteilung
light
-optical technique
lichtoptische Methode
light
-pen detection
Identifizierung durch Lichtstift
light
sectioning microscope
Lichtschnittmikroskop
(zum Messen dicker Schichten)
light
-transmitting photomask
lichtdurchlässige Fotomaske
limitation of resolution imposed by the wavelength of
light
durch die Lichtwellenlänge bedingte Begrenzung der Auflösung
low-battery warning
light
optische Warnanzeige für schwache Batterie
operation in a coherent
light
regime
Betriebsart mit kohärentem Licht
operator-indicator
lights
Anzeigelampen für den Operateur
pulse the
light
source at proper intervals
Lichtimpulse in entsprechenden Intervallen auslösen
pushbutton control panel with indicator
lights
Bedienungsfeld mit Anzeigelämpchen
pushbutton control panel with indicator
lights
Bedienfeld mit Anzeigelämpchen
remove the
light
-exposed photoresist
das belichtete Fotoresist entfernen
resolution limit of
light
optics
Auflösungsgrenze der Lichtoptik
(optische Projektionslithografie)
route the
light
das Licht leiten
scan a
light
spot over a defect
eine Lichtsonde im Abtastverfahren über einen Defekt führen
scanning
light
spot
Abtastsonde
scanning
light
spot
Abtastlichtfleck
separate
light
sources for alignment and exposure
getrennte Lichtquellen für Justierung und Belichtung
square-wave pulse of
light
Rechteckwellenlichtimpuls
status
light
Betriebsanzeigelämpchen
ultraviolet-
light
-erasable
UV-löschbar
ultraviolet-
light
-erasable
durch UV-Licht löschbar
ultraviolet-
light
erasure
UV-Löschung
variation in the
light
intensity
Schwankung der Lichtintensität
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