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| intra-die error | Fehler innerhalb eines Einzelchips |
| intra-die matching | Überdeckungsgenauigkeit innerhalb eines Chips |
| intra-die mismatch | Uberdeckungsfehler innerhalb eines Chips (overlay misalignment) |
| intra-die variation | Schwankung innerhalb eines Chips |
| intra-element proximity effect | Proximity-Effekt (Nachbarschaftsbeeinflussung durch diffuse Rückstreuung der Elektronen von anderen Teilen desselben Elements) |