 |
| English | Russian |
| contrast-enhanced lithography | контрастная литография |
| deep-UV lithography | фотолитография на глубоком жёстком ультрафиолете |
| direct step-on-wafer lithography | фотолитография с непосредственной пошаговой проекцией рисунка на пластину |
| direct-write electron-beam lithography | бесшаблонное электронно-лучевое экспонирование |
| «lift-off» lithography | «взрывная» литография (метод, по которому тонкая металлическая плёнка наносится на всю поверхность полупроводниковой пластины с экспонированным и частично удалённым фоторезистом, а затем при помощи растворителя неэкспонированный резист и находящийся на нём металл удаляются) |
| «lift-off» lithography | обратная литография |
| soft lithography | контактная фотолитография с микрозазором |
| variable-shaped ЕВ lithography | литография электронным лучом с изменяемой геометрией |
| variable-shaped ЕВ lithography | электронно-лучевая литография с управляемыми размерами луча |