 |
| Subject | English | Russian |
| el. | implantation damage | дефект, созданный имплантацией |
| tech. | implantation damage | имплантационный дефект |
| tech. | implantation damage | имплантационное повреждение |
| automat. | ion implantation damage annealing | отжиг радиационных дефектов (отжиг дефектов, обусловленных ионной имплантацией) |